Priekinis gamybos linijos galas yra tarsi pamatų klojimas ir namo sienų statyba. Puslaidininkių gamyboje šis etapas apima pagrindinių konstrukcijų ir tranzistorių kūrimą ant silicio plokštelės.
Pagrindiniai FEOL žingsniai:
1. Valymas:Pradėkite nuo plonos silicio plokštelės ir nuvalykite ją, kad pašalintumėte nešvarumus.
2. Oksidacija:Ant plokštelės užauginkite silicio dioksido sluoksnį, kad atskirtumėte skirtingas lusto dalis.
3. Fotolitografija:Naudokite fotolitografiją, norėdami išgraviruoti raštus ant plokštelės, panašiai kaip piešti brėžinius šviesa.
4. Ofortas:Išgraviruokite nepageidaujamą silicio dioksidą, kad atskleistumėte norimus raštus.
5. Dopingas:Įpilkite priemaišų į silicį, kad pakeistumėte jo elektrines savybes, sukurdami tranzistorius, pagrindinius bet kurio lusto blokus.
Vidurinės linijos pabaiga (MEOL): taškų sujungimas
Vidutinė gamybos linijos pabaiga yra tarsi elektros instaliacijos ir santechnikos įrengimas namuose. Šiame etape pagrindinis dėmesys skiriamas jungčių tarp tranzistorių, sukurtų FEOL stadijoje, užmezgimui.
Pagrindiniai MEOL žingsniai:
1. Dielektrinis nusodinimas:Uždėkite izoliacinius sluoksnius (vadinamus dielektriku), kad apsaugotų tranzistorius.
2. Kontaktų formavimas:Suformuokite kontaktus, kad sujungtumėte tranzistorius vienas su kitu ir išoriniu pasauliu.
3. Sujungti:Pridėkite metalinių sluoksnių, kad sukurtumėte elektros signalų kelius, panašiai kaip laidų sujungimas namuose, kad būtų užtikrintas sklandus energijos ir duomenų srautas.
Užpakalinė eilutės pabaiga (BEOL): apdailos darbai
-
Galinė gamybos linijos dalis yra tarsi paskutinis namo akcentas – montuojama armatūra, dažymas ir užtikrinama, kad viskas veiktų. Puslaidininkių gamyboje šis etapas apima galutinių sluoksnių pridėjimą ir lusto paruošimą pakavimui.
Pagrindiniai BEOL žingsniai:
1. Papildomi metalo sluoksniai:Pridėkite kelis metalinius sluoksnius, kad pagerintumėte tarpusavio ryšį ir užtikrintumėte, kad lustas gali atlikti sudėtingas užduotis ir atlikti didelį greitį.
2. Pasyvavimas:Užtepkite apsauginius sluoksnius, kad apsaugotumėte lustą nuo aplinkos žalos.
3. Testavimas:Kruopščiai patikrinkite lustą, kad įsitikintumėte, jog jis atitinka visas specifikacijas.
4. Pjaustymas kubeliais:Supjaustykite vaflį į atskiras drožles, kurių kiekviena yra paruošta pakuoti ir naudoti elektroniniuose įrenginiuose.
Paskelbimo laikas: 2024-08-08