MOCVD epitaksinės dalys

SiC dengto grafito pagrindo SiC dengtų grafito laikiklių procesas
Silicio pagrindu sukurta GaN epitaksija
Puslaidininkiniu SiC dengtas monokristalinio silicio epitaksinis diskas
Grafitinis susceptorius su silicio karbido danga, 8 colių plokštelių laikiklis
19 vienetų 2 colių grafito pagrindo MOCVD įrangos dalių
Grafitinis susceptorius su silicio karbido danga, 6 vienetų 6 colių plokštelių laikiklis
Silicio karbido diskas, skirtas MOCVD
Antioksidacinis didelio grynumo SiC dengtas MOCVD padėklas
41 vnt. 4 colių grafito pagrindo MOCVD įrangos dalys
36 vnt. 4 colių grafito pagrindo MOCVD įrangos dalys
Mėlyna/žalia LED epitaksija