Puslaidininkių gamybos linijų priekiniai, viduriniai ir galiniai galai
Puslaidininkių gamybos procesą galima apytiksliai suskirstyti į tris etapus:
1) Priekinis linijos galas
2) eilutės vidurys
3) Užpakalinė eilutės pabaiga
Norėdami ištirti sudėtingą lustų gamybos procesą, galime naudoti paprastą analogiją, pavyzdžiui, namo statybą:
Priekinis gamybos linijos galas yra tarsi pamatų klojimas ir namo sienų statyba. Puslaidininkių gamyboje šis etapas apima pagrindinių konstrukcijų ir tranzistorių sukūrimą ant silicio plokštelės.
Pagrindiniai FEOL žingsniai:
1.Valymas: pradėkite nuo plonos silicio plokštelės ir nuvalykite ją, kad pašalintumėte nešvarumus.
2. Oksidacija: ant plokštelės užauginkite silicio dioksido sluoksnį, kad atskirtumėte skirtingas lusto dalis.
3. Fotolitografija: naudokite fotolitografiją, kad ant plokštelės išgraviruotumėte raštus, panašiai kaip piešiant brėžinius šviesa.
4. Odinimas: išgraviruokite nepageidaujamą silicio dioksidą, kad atskleistumėte norimus raštus.
5. Dopingas: įpilkite priemaišų į silicį, kad pakeistumėte jo elektrines savybes, sukurdami tranzistorius, pagrindinius bet kurio lusto blokus.
Vidurinės linijos pabaiga (MEOL): taškų sujungimas
Vidutinė gamybos linijos pabaiga yra tarsi elektros instaliacijos ir santechnikos įrengimas namuose. Šiame etape pagrindinis dėmesys skiriamas jungčių tarp tranzistorių, sukurtų FEOL stadijoje, užmezgimui.
Pagrindiniai MEOL žingsniai:
1. Dielektrinis nusodinimas: uždėkite izoliacinius sluoksnius (vadinamus dielektriku), kad apsaugotumėte tranzistorius.
2.Kontaktų formavimas: suformuokite kontaktus, kad sujungtumėte tranzistorius vienas su kitu ir išoriniu pasauliu.
3. Sujungimas: pridėkite metalinių sluoksnių, kad sukurtumėte elektros signalų kelius, panašiai kaip laidų sujungimas namuose, kad būtų užtikrintas sklandus energijos ir duomenų srautas.
Užpakalinė eilutės pabaiga (BEOL): apdailos darbai
Galinė gamybos linijos dalis yra tarsi paskutinis namo akcentas – montuojama armatūra, dažymas ir užtikrinama, kad viskas veiktų. Puslaidininkių gamyboje šis etapas apima galutinių sluoksnių pridėjimą ir lusto paruošimą pakavimui.
Pagrindiniai BEOL žingsniai:
1. Papildomi metalo sluoksniai: pridėkite kelis metalinius sluoksnius, kad pagerintumėte tarpusavio ryšį ir užtikrintumėte, kad lustas gali atlikti sudėtingas užduotis ir atlikti didelį greitį.
2. Pasyvavimas: Užtepkite apsauginius sluoksnius, kad apsaugotumėte lustą nuo aplinkos žalos.
3.Testavimas: kruopščiai patikrinkite lustą, kad įsitikintumėte, jog jis atitinka visas specifikacijas.
4. Supjaustykite kubeliais: supjaustykite vaflį į atskiras drožles, kurių kiekviena yra paruošta pakuoti ir naudoti elektroniniuose įrenginiuose.
„Semicera“ yra pirmaujanti originalios įrangos gamintojų gamintoja Kinijoje, skirta teikti išskirtinę vertę savo klientams. Mes siūlome platų aukštos kokybės produktų ir paslaugų asortimentą, įskaitant:
1.CVD SiC danga(Epitaxy, pritaikytos CVD dengtos dalys, didelio našumo dangos puslaidininkiams ir kt.)
2.CVD SiC didžiosios dalys(Etch žiedai, fokusavimo žiedai, pasirinktiniai puslaidininkinės įrangos SiC komponentai ir kt.)
3.CVD TaC dengtos dalys(Epitaksija, SiC plokštelių auginimas, taikymas aukštoje temperatūroje ir kt.)
4.Grafito dalys(Grafitinės valtys, pritaikyti grafito komponentai, skirti apdoroti aukštoje temperatūroje ir kt.)
5.SiC dalys(SiC valtys, SiC krosnių vamzdžiai, pasirinktiniai SiC komponentai pažangiam medžiagų apdorojimui ir kt.)
6.Kvarco dalys(Kvarcinės valtys, pritaikytos kvarco dalys puslaidininkių ir saulės energijos pramonei ir kt.)
Mūsų įsipareigojimas siekti meistriškumo užtikrina, kad teikiame naujoviškus ir patikimus sprendimus įvairioms pramonės šakoms, įskaitant puslaidininkių gamybą, pažangų medžiagų apdorojimą ir aukštųjų technologijų programas. Didžiausią dėmesį skirdami tikslumui ir kokybei, esame pasiryžę patenkinti unikalius kiekvieno kliento poreikius.
Paskelbimo laikas: 2024-12-09