Visos plonos plėvelės, naudojamos puslaidininkių gamyboje, turi atsparumą, o plėvelės atsparumas turi tiesioginės įtakos įrenginio veikimui. Mes dažniausiai nematuojame absoliučios plėvelės varžos, o naudojame lakšto varžą jai apibūdinti.
Kas yra lakšto varža ir tūrinė varža?
Tūrinė varža, taip pat žinoma kaip tūrinė varža, yra būdinga medžiagos savybė, apibūdinanti, kiek medžiaga trukdo elektros srovei. Dažniausiai naudojamas simbolis ρ reiškia, vienetas yra Ω.
Lakštų atsparumas, taip pat žinomas kaip lakštų atsparumas, angliškas pavadinimas yra lakštų atsparumas, kuris nurodo plėvelės atsparumo vertę ploto vienetui. Dažniausiai naudojami simboliai Rs arba ρs išreikšti, vienetas yra Ω/kv arba Ω/□
Ryšys tarp šių dviejų yra: lakšto varža = tūrio varža / plėvelės storis, tai yra, Rs = ρ / t
Kodėl reikia matuoti lakštų varžą?
Norint išmatuoti absoliučią plėvelės varžą, reikia tiksliai žinoti plėvelės geometrinius matmenis (ilgį, plotį, storį), kurie turi daug kintamųjų ir yra labai sudėtingi labai plonoms arba netaisyklingos formos plėvelėms. Lakšto atsparumas priklauso tik nuo plėvelės storio ir gali būti greitai ir tiesiogiai patikrinamas be sudėtingų dydžio skaičiavimų.
Kokioms plėvelėms reikia matuoti lakštų varžą?
Paprastai laidžioms plėvelėms ir puslaidininkinėms plėvelėms reikia matuoti kvadratinę varžą, o izoliacinių plėvelių matuoti nereikia.
Naudojant puslaidininkinį legiravimą, taip pat matuojamas silicio lakštinis atsparumas.
Kaip išmatuoti kvadratinį pasipriešinimą?
Keturių zondų metodas paprastai naudojamas pramonėje. Keturių zondų metodas gali išmatuoti kvadratinę varžą nuo 1E-3 iki 1E+9Ω/kv. Taikant keturių zondų metodą galima išvengti matavimo klaidų dėl zondo ir mėginio kontaktinės varžos.
Matavimo metodai:
1) Ant mėginio paviršiaus uždėkite keturis tiesiškai išdėstytus zondus.
2) Taikykite pastovią srovę tarp dviejų išorinių zondų.
3) Nustatykite varžą išmatuodami potencialų skirtumą tarp dviejų vidinių zondų
RS: lakšto atsparumas
ΔV: įtampos pokytis, išmatuotas tarp vidinių zondų
I : srovė, taikoma tarp išorinių zondų
Paskelbimo laikas: 2024-03-29