Šiuo metu fotorezistas plačiai naudojamas apdorojant ir gaminant smulkias grafines grandines optoelektroninės informacijos pramonėje. Fotolitografijos proceso kaina sudaro apie 35% viso lusto gamybos proceso, o laiko sąnaudos sudaro nuo 40% iki 60% viso lusto proceso. Tai yra pagrindinis puslaidininkių gamybos procesas. Fotorezistų medžiagos sudaro apie 4% visų lustų gamybos medžiagų sąnaudų ir yra pagrindinės puslaidininkių integrinių grandynų gamybos medžiagos.
Kinijos fotorezistų rinkos augimo tempas yra didesnis nei tarptautinis lygis. Remiantis Perspektyvinės pramonės tyrimų instituto duomenimis, mano šalies vietinė fotorezisto pasiūla 2019 m. sudarė apie 7 milijardus juanių, o sudėtinis augimo tempas nuo 2010 m. pasiekė 11 %, o tai yra daug didesnis nei pasaulinis augimo tempas. Tačiau vietinis tiekimas sudaro tik apie 10% pasaulinės dalies, o vietinis pakeitimas buvo pasiektas daugiausia dėl žemos klasės PCB fotorezistų. Fotorezistų savarankiškumo rodiklis LCD ir puslaidininkių laukuose yra itin mažas.
Fotorezistas yra grafinė perdavimo terpė, kuri naudoja skirtingą tirpumą po šviesos reakcijos, kad kaukės raštas būtų perkeltas į pagrindą. Jį daugiausia sudaro šviesai jautrus agentas (fotoiniciatorius), polimerizatorius (šviesai jautri derva), tirpiklis ir priedas.
Fotorezisto žaliavos daugiausia yra derva, tirpiklis ir kiti priedai. Tarp jų didžiausią dalį sudaro tirpiklis, paprastai daugiau nei 80 %. Nors kiti priedai sudaro mažiau nei 5% masės, jie yra pagrindinės medžiagos, lemiančios unikalias fotorezisto savybes, įskaitant fotosensibilizatorius, paviršinio aktyvumo medžiagas ir kitas medžiagas. Fotolitografijos procese fotorezistas tolygiai padengiamas ant skirtingų substratų, tokių kaip silicio plokštelės, stiklas ir metalas. Po ekspozicijos, išryškinimo ir ėsdinimo kaukės raštas perkeliamas į plėvelę, kad susidarytų geometrinis raštas, visiškai atitinkantis kaukę.
Fotorezistas gali būti suskirstytas į tris kategorijas pagal jo taikymo sritis: puslaidininkinis fotorezistas, skydinis fotorezistas ir PCB fotorezistas.
Puslaidininkinis fotorezistas
Šiuo metu KrF/ArF vis dar yra pagrindinė apdorojimo medžiaga. Tobulėjant integriniams grandynams, fotolitografijos technologija vystėsi nuo G linijos (436 nm) litografijos, H linijos (405 nm) litografijos, I linijos (365 nm) litografijos iki giliųjų ultravioletinių DUV litografijos (KrF248 nm ir ArF193 nm), 193 nm panardinimas ir daugkartinio vaizdo gavimo technologija (32 nm–7 nm), o tada iki ekstremalaus ultravioletinių spindulių (EUV, <13,5 nm) litografija ir net neoptinė litografija (elektronų pluošto ekspozicija, jonų pluošto ekspozicija) ir įvairių tipų fotorezistai su atitinkamais bangos ilgiais kaip šviesai jautrūs bangos ilgiai.
Fotorezistų rinka pasižymi dideliu pramonės koncentracijos laipsniu. Japonijos įmonės turi absoliutų pranašumą puslaidininkinių fotorezistų srityje. Pagrindiniai puslaidininkių fotorezistų gamintojai yra Tokyo Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, Shin-Etsu Chemical Japonijoje; „Dongjin Semiconductor“ Pietų Korėjoje; ir DowDuPont JAV, tarp kurių Japonijos įmonės užima apie 70% rinkos dalies. Kalbant apie gaminius, „Tokyo Ohka“ pirmauja g-line/i-line ir Krf fotorezistų srityse, kurios rinkos dalys yra atitinkamai 27,5% ir 32,7%. JSR užima didžiausią rinkos dalį Arf fotorezisto srityje – 25,6%.
Remiantis „Fuji Economic“ prognozėmis, pasauliniai ArF ir KrF klijų gamybos pajėgumai 2023 metais turėtų siekti 1870 ir 3650 tonų, o rinkos dydis – beveik 4,9 mlrd. ir 2,8 mlrd. juanių. Japonijos fotorezisto lyderių JSR ir TOK bendrasis pelnas, įskaitant fotorezistą, yra apie 40%, iš kurių fotorezisto žaliavų savikaina sudaro apie 90%.
Buitinių puslaidininkinių fotorezistų gamintojai yra Šanchajus Xinyang, Nanjing Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua ir Hengkun Co., Ltd. Šiuo metu tik Beijing Kehua ir Jingrui Co., Ltd. gali masiškai gaminti KrF fotorezistus. , o „Beijing Kehua“ produktai buvo tiekiami SMIC. Tikimasi, kad Šanchajaus Xinyang mieste statomas 19 000 tonų per metus ARF (sauso proceso) fotorezisto projektas bus visiškai pagamintas 2022 m.
Skydelio fotorezistas
Fotorezistas yra pagrindinė skystųjų kristalų plokščių gamybos medžiaga. Pagal skirtingus vartotojus jis gali būti suskirstytas į RGB klijus, BM klijus, OC klijus, PS klijus, TFT klijus ir kt.
Skydelių fotorezistai daugiausia apima keturias kategorijas: TFT laidų fotorezistai, LCD/TP tarpiklių fotorezistai, spalvoti fotorezistai ir juodi fotorezistai. Tarp jų ITO laidams naudojami TFT laidų fotorezistai, o skystųjų kristalų / TP nusodinimo fotorezistai naudojami siekiant išlaikyti pastovų skystųjų kristalų medžiagos storį tarp dviejų LCD ekrano stiklinių pagrindų. Spalvoti fotorezistai ir juodi fotorezistai gali suteikti spalvų filtrams spalvų perteikimo funkcijas.
Plokštelių fotorezistų rinka turi būti stabili, o spalvotų fotorezistų paklausa yra pirmaujanti. Tikimasi, kad 2022 m. pasauliniai pardavimai pasieks 22 900 tonų, o pardavimai sieks 877 mln.
Tikimasi, kad 2022 m. TFT plokščių fotorezistų, LCD/TP tarpinių fotorezistų ir juodų fotorezistų pardavimas atitinkamai pasieks 321 mln., 251 mln. USD ir 199 mln. RMB 16,7 mlrd. 2020 m., o augimo tempas sieks apie 4%. Mūsų skaičiavimais, iki 2025 m. fotorezistų rinka pasieks 20,3 mlrd. RMB. Manoma, kad, perkėlus LCD pramonės centrą, LCD fotorezisto rinkos dydis ir lokalizacijos rodiklis mano šalyje palaipsniui didės.
PCB fotorezistas
PCB fotorezistas gali būti suskirstytas į UV kietėjimo rašalą ir UV purškimo rašalą pagal dengimo metodą. Šiuo metu vietiniai PCB rašalo tiekėjai pamažu pasiekė vietinį pakeitimą, o tokios įmonės kaip Rongda Photosensitive ir Guangxin Materials įvaldė pagrindines PCB rašalo technologijas.
Buitinis TFT fotorezistas ir puslaidininkinis fotorezistas vis dar yra pradiniame tyrinėjimo etape. „Jingrui Co., Ltd.“, „Yak Technology“, „Yongtai Technology“, „Rongda Photosensitive“, „Xinyihua“, „China Electronics Rainbow“ ir „Feikai Materials“ turi išdėstymus TFT fotorezisto srityje. Tarp jų „Feikai Materials“ ir „Beixu Electronics“ yra numatę gamybos pajėgumus iki 5000 tonų per metus. „Yak Technology“ įžengė į šią rinką įsigijusi „LG Chem“ spalvoto fotorezisto padalinį ir turi pranašumų kanalų ir technologijų srityje.
Pramonėms, turinčioms itin aukštas technines kliūtis, tokias kaip fotorezistas, pagrindas yra pasiekti proveržių techniniame lygyje, antra, norint patenkinti sparčios puslaidininkių pramonės plėtros poreikius, būtina nuolat tobulinti procesus.
Sveiki atvykę į mūsų svetainę, kur rasite informacijos apie gaminį ir konsultacijų.
Paskelbimo laikas: 2024-11-27