Silicio karbido padėklai, taip pat žinomi kaip SiC padėklai, yra svarbios medžiagos, naudojamos silicio plokštelėms nešti puslaidininkių gamybos procese. Silicio karbidas pasižymi puikiomis savybėmis, tokiomis kaip didelis kietumas, atsparumas aukštai temperatūrai ir atsparumas korozijai, todėl palaipsniui pakeičia...
Skaityti daugiau