Vaflių laikiklio pristatymas
PRODUKTŲ KATEGORIJA
▶Plokščių laikiklio sistema PECVD ir TALOX procesams
• PECVD ir TALOX grafitinė valtis (M4~M12)
• Vertikalus SM-Boat (M4, M6)
• Implanto ir dušo grafito dalis (M4~M6)
• C/C padėklas ir keraminė danga
• Metalinė RIE padėklas ir keraminė danga
• Vakuuminis sandarinimas: O-Ring ir SQ-Ring
▶Tekstūravimo ir šlapio ėsdinimo perkėlimo procesas
• LSC H-Carrier arba kasetė (M4~M12)
• LSC V nešiklis arba kasetė (M4~M12)
• ASC laikiklis arba kasetė (M4, M6)
• W/F nešiklis ir saugojimo dėžė (M4~M12)
• Transportavimo ratų (ritinukų) serija
▶Saulės elementų laikiklis ir metalinis laikiklis
• TRC laikiklis arba kasetė (M4~M12)
• Žurnalas (su DIRŽU)
GRAFITINĖ VALTIS (H tipo)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITINĖ VALTIS (H tipo)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITINĖ VALTIS (H tipo)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
GRAFITINĖ VALTIS (H tipo)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITINĖ VALTIS (H tipo)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF VEŽĖKLĖ IR LAIKYMO DĖŽĖ (~M12)
C/C DĖKLAS arba VEŽĖKLĖ (M4~M10)
C/C DĖKLAS arba VEŽĖKLĖ (M4~M10)
VERTIKALUS VALTIS (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC VEŽĖJAS (~M12)
TRC VEŽĖJAS (~M12)
GRAFITO VALTIS (M12)
Plokščių nešiklio sistema PECVD procesui
▶ GRAFITINĖ VALTIS (Sukurta CT) M10/M12 procesas
• SPECIALUS DIZAINO KONCEPCIJA
▶ GRAFITINĖ VALTIS (Sukurta CT) M4/M6 procesas
▶ VALTIO priedų dalys
▶ VERTIKALUS VALTIS-161,7 mm VAFERIS
▶ VERTIKALUS VALTIS-166mm VAFERIS
▶ VERTIKALI VALTIS-161,7 mm, 166 mm WAFER
Saulės elementų laikiklis ir metalinis TRC laikiklis
TIPAS: Automatika
VAFLIŲ DYDIS: ① 156 × 156 mm ② 156,75 × 156,75 mm
③161,7 x 161,7 mm ③ 166 x 166 mm
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
NAUDOJIMAS: Nešiojamas (kasetė)
TALPA: 100 lapų
ŽINGLIS: 4,76 mm / 5,953 mm / 6,35 mm
MATMENYS: apie 559 × 220 × 220 mm
Maždaug 712 × 260 × 260 mm
PRIVALUMAS: Atmosfera
MEDŽIAGA: liepsna, šoninė juosta - aliuminis (anodavimas)
ŠONINĖ PLOKŠTELĖ (Antstatinė)
Apatinės juostos dangtelis-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
DUŠO PLOKŠTELĖ IR IMPLANTAS, NEŠIKLIS
