4 colių didelio grynumo pusiau izoliuojantis HPSI SiC dvipusis poliruotas plokštelinis substratas

Trumpas aprašymas:

„Semicera“ 4 colių didelio grynumo pusiau izoliuojantis (HPSI) SiC dvipusis poliruotas plokštelinis substratas yra tiksliai suprojektuotas, kad būtų užtikrintas puikus elektroninis veikimas. Šios plokštelės užtikrina puikų šilumos laidumą ir elektros izoliaciją, idealiai tinka pažangioms puslaidininkių programoms. Pasitikėkite Semicera dėl neprilygstamos kokybės ir naujovių plokštelių technologijų srityje.


Produkto detalė

Produkto etiketės

„Semicera“ 4 colių didelio grynumo pusiau izoliuojantis (HPSI) SiC dvipusis poliruotas plokštelinis substratas yra sukurtas taip, kad atitiktų griežtus puslaidininkių pramonės poreikius. Šie substratai yra sukurti išskirtinio lygumo ir grynumo, todėl yra optimali platforma pažangiems elektroniniams įrenginiams.

Šios HPSI SiC plokštelės išsiskiria puikiu šilumos laidumu ir elektros izoliacijos savybėmis, todėl yra puikus pasirinkimas aukšto dažnio ir didelės galios reikmėms. Dviejų pusių poliravimo procesas užtikrina minimalų paviršiaus šiurkštumą, kuris yra labai svarbus siekiant pagerinti įrenginio veikimą ir ilgaamžiškumą.

Didelis Semicera SiC plokštelių grynumas sumažina defektų ir nešvarumų skaičių, todėl padidėja išeiga ir įrenginio patikimumas. Šie substratai tinka įvairioms reikmėms, įskaitant mikrobangų įrenginius, galios elektroniką ir LED technologijas, kur tikslumas ir ilgaamžiškumas yra labai svarbūs.

Didžiausią dėmesį skirdama naujovėms ir kokybei, Semicera naudoja pažangias gamybos technologijas, kad gamintų plokšteles, atitinkančias griežtus šiuolaikinės elektronikos reikalavimus. Dvipusis poliravimas ne tik pagerina mechaninį stiprumą, bet ir palengvina geresnį integravimą su kitomis puslaidininkinėmis medžiagomis.

Pasirinkę Semicera 4 colių didelio grynumo pusiau izoliuojančius HPSI SiC dvipusius poliruotus vaflių substratus, gamintojai gali pasinaudoti patobulinto šilumos valdymo ir elektros izoliacijos pranašumais, atverdami kelią efektyvesnių ir galingesnių elektroninių prietaisų kūrimui. Semicera ir toliau pirmauja pramonėje, siekdama kokybės ir technologijų pažangos.

Daiktai

Gamyba

Tyrimas

Manekenas

Krištolo parametrai

Politipas

4H

Paviršiaus orientacijos klaida

<11-20 >4±0,15°

Elektriniai parametrai

Dopantas

n tipo azotas

Atsparumas

0,015-0,025 omo cm

Mechaniniai parametrai

Skersmuo

150,0±0,2 mm

Storis

350±25 μm

Pirminė plokščia orientacija

[1–100]±5°

Pirminis plokščias ilgis

47,5±1,5 mm

Antrinis butas

Nėra

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤ 3 μm (5 mm * 5 mm)

≤5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Lankas

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Metmenys

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktūra

Mikrovamzdžio tankis

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Metalo priemaišos

≤5E10 atomų/cm2

NA

BPD

≤1500 e/cm2

≤3000 e/cm2

NA

TSD

≤500 e/cm2

≤1000 e/cm2

NA

Priekinė kokybė

Priekyje

Si

Paviršiaus apdaila

Si-face CMP

Dalelės

≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm)

NA

Įbrėžimai

≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo

Bendras ilgis≤2*Skersmuo

NA

Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas

Nėra

NA

Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės

Nėra

Politipinės zonos

Nėra

Bendras plotas≤20 %

Bendras plotas≤30 %

Priekinis lazerinis žymėjimas

Nėra

Nugaros kokybė

Nugaros apdaila

C-face CMP

Įbrėžimai

≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo

NA

Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos)

Nėra

Nugaros šiurkštumas

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Nugaros lazerinis žymėjimas

1 mm (nuo viršutinio krašto)

Kraštas

Kraštas

Nusklembta

Pakuotė

Pakuotė

Epi-ready su vakuumine pakuote

Kelių plokštelių kasetinė pakuotė

*Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD.

tech_1_2_dydis
SiC plokštelės

  • Ankstesnis:
  • Kitas: