4 colių N tipo SiC substratas

4 colių SiC substrato N tipo išskirtinis vaizdas

Trumpas aprašymas:

Semicera siūlo platų 4H-8H SiC plokštelių asortimentą. Jau daugelį metų esame puslaidininkių ir fotovoltinės pramonės gaminių gamintojai ir tiekėjai. Mūsų pagrindiniai produktai yra: silicio karbido ėsdinimo plokštės, silicio karbido valčių priekabos, silicio karbido plokštelės (PV ir puslaidininkiniai), silicio karbido krosnių vamzdžiai, silicio karbido konsolės, silicio karbido griebtuvai, silicio karbido sijos, taip pat CVD sijos ir SiC dangos. TaC dangos. Apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųskite mums el

Produkto detalė

Produkto etiketės

Silicio karbido (SiC) monokristalinė medžiaga turi didelį juostos tarpo plotį (~ Si 3 kartus), aukštą šilumos laidumą (~ Si 3,3 karto arba GaAs 10 kartų), didelį elektronų soties migracijos greitį (~ Si 2,5 karto), didelį suskaidymą elektros. laukas (~ Si 10 kartų arba GaAs 5 kartus) ir kitos išskirtinės charakteristikos.

Semicera energija gali suteikti klientams aukštos kokybės laidus (laidus), pusiau izoliuojantį (pusiau izoliuojantį), HPSI (aukšto grynumo pusiau izoliuojantį) silicio karbido pagrindą; Be to, klientams galime pateikti vienalyčius ir nevienalyčius silicio karbido epitaksinius lakštus; Taip pat galime pritaikyti epitaksinį lapą pagal konkrečius klientų poreikius, o minimalaus užsakymo kiekio nėra.

Daiktai	Gamyba	Tyrimas	Manekenas
Krištolo parametrai
Politipas	4H
Paviršiaus orientacijos klaida	<11-20 >4±0,15°
Elektriniai parametrai
Dopantas	n tipo azotas
Atsparumas	0,015-0,025 omo cm
Mechaniniai parametrai
Skersmuo	99,5 - 100 mm
Storis	350±25 μm
Pirminė plokščia orientacija	[1–100]±5°
Pirminis plokščias ilgis	32,5±1,5 mm
Antrinė plokščia padėtis	90° CW nuo pirminio plokščio ±5°. silicio veidu į viršų
Antrinis plokščias ilgis	18±1,5 mm
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤20 μm
LTV	≤ 2 μm (5 mm * 5 mm)	≤5 μm (5 mm * 5 mm)	NA
Lankas	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Metmenys	≤20 μm	≤45 μm	≤50 μm
Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM)	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Struktūra
Mikrovamzdžio tankis	≤1 e/cm2	≤5 e/cm2	≤10 e/cm2
Metalo priemaišos	≤5E10 atomų/cm2		NA
BPD	≤1500 e/cm2	≤3000 e/cm2	NA
TSD	≤500 e/cm2	≤1000 e/cm2	NA
Priekinė kokybė
Priekyje	Si
Paviršiaus apdaila	Si-face CMP
Dalelės	≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm)	NA
Įbrėžimai	≤2ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo	Bendras ilgis≤2*Skersmuo	NA
Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas	Nėra		NA
Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės	Nėra		NA
Politipinės zonos	Nėra	Bendras plotas≤20 %	Bendras plotas≤30 %
Priekinis lazerinis žymėjimas	Nėra
Nugaros kokybė
Nugaros apdaila	C-face CMP
Įbrėžimai	≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo	NA
Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos)	Nėra
Nugaros šiurkštumas	Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
Nugaros lazerinis žymėjimas	1 mm (nuo viršutinio krašto)
Kraštas
Kraštas	Nusklembta
Pakuotė
Pakuotė	Vidinis maišas pripildytas azotu, o išorinis maišas išsiurbiamas. Daugiasluoksnė kasetė, paruošta epi-ready.
*Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD.