6 colių N tipo SiC substratas

Trumpas aprašymas:

Semicera siūlo platų 4H-8H SiC plokštelių asortimentą. Jau daugelį metų esame puslaidininkių ir fotovoltinės pramonės gaminių gamintojai ir tiekėjai. Mūsų pagrindiniai produktai yra: silicio karbido ėsdinimo plokštės, silicio karbido valčių priekabos, silicio karbido plokštelės (PV ir puslaidininkiniai), silicio karbido krosnių vamzdžiai, silicio karbido konsolės, silicio karbido griebtuvai, silicio karbido sijos, taip pat CVD sijos ir SiC dangos. TaC dangos. Apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

 

Produkto detalė

Produkto etiketės

Silicio karbido (SiC) monokristalinė medžiaga turi didelį juostos tarpo plotį (~ Si 3 kartus), aukštą šilumos laidumą (~ Si 3,3 karto arba GaAs 10 kartų), didelį elektronų soties migracijos greitį (~ Si 2,5 karto), didelį suskaidymą elektros. laukas (~ Si 10 kartų arba GaAs 5 kartus) ir kitos išskirtinės charakteristikos.

Trečiosios kartos puslaidininkinės medžiagos daugiausia apima SiC, GaN, deimantą ir kt., nes jos juostos tarpo plotis (Eg) yra didesnis arba lygus 2,3 elektronų voltų (eV), taip pat žinomas kaip plačiajuosčio tarpo puslaidininkinės medžiagos. Palyginti su pirmosios ir antrosios kartos puslaidininkinėmis medžiagomis, trečiosios kartos puslaidininkinės medžiagos turi aukšto šilumos laidumo, didelio suskaidymo elektrinio lauko, didelio sočiųjų elektronų migracijos greičio ir didelės surišimo energijos privalumų, kurie gali atitikti naujus šiuolaikinių elektroninių technologijų reikalavimus. temperatūra, didelė galia, aukštas slėgis, aukštas dažnis ir atsparumas spinduliuotei bei kitos atšiaurios sąlygos. Jis turi svarbių taikymo perspektyvų krašto apsaugos, aviacijos, kosmoso, naftos žvalgymo, optinio saugojimo ir kt. srityse ir gali sumažinti energijos nuostolius daugiau nei 50 % daugelyje strateginių pramonės šakų, tokių kaip plačiajuostis ryšys, saulės energija, automobilių gamyba, puslaidininkinis apšvietimas ir išmanusis tinklas ir gali sumažinti įrangos apimtį daugiau nei 75%, o tai yra labai svarbus žmogaus mokslo ir technologijų vystymuisi.

Semicera energija gali suteikti klientams aukštos kokybės laidus (laidus), pusiau izoliuojantį (pusiau izoliuojantį), HPSI (aukšto grynumo pusiau izoliuojantį) silicio karbido pagrindą; Be to, klientams galime pateikti vienalyčius ir nevienalyčius silicio karbido epitaksinius lakštus; Taip pat galime pritaikyti epitaksinį lapą pagal konkrečius klientų poreikius, o minimalaus užsakymo kiekio nėra.

Daiktai

Gamyba

Tyrimas

Manekenas

Krištolo parametrai

Politipas

4H

Paviršiaus orientacijos klaida

<11-20 >4±0,15°

Elektriniai parametrai

Dopantas

n tipo azotas

Atsparumas

0,015-0,025 omo cm

Mechaniniai parametrai

Skersmuo

150,0±0,2 mm

Storis

350±25 μm

Pirminė plokščia orientacija

[1–100]±5°

Pirminis plokščias ilgis

47,5±1,5 mm

Antrinis butas

Nėra

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤ 3 μm (5 mm * 5 mm)

≤5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Lankas

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Metmenys

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktūra

Mikrovamzdžio tankis

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Metalo priemaišos

≤5E10 atomų/cm2

NA

BPD

≤1500 e/cm2

≤3000 e/cm2

NA

TSD

≤500 e/cm2

≤1000 e/cm2

NA

Priekinė kokybė

Priekyje

Si

Paviršiaus apdaila

Si-face CMP

Dalelės

≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm)

NA

Įbrėžimai

≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo

Bendras ilgis≤2*Skersmuo

NA

Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas

Nėra

NA

Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės

Nėra

Politipinės zonos

Nėra

Bendras plotas≤20 %

Bendras plotas≤30 %

Priekinis lazerinis žymėjimas

Nėra

Nugaros kokybė

Nugaros apdaila

C-face CMP

Įbrėžimai

≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo

NA

Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos)

Nėra

Nugaros šiurkštumas

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Nugaros lazerinis žymėjimas

1 mm (nuo viršutinio krašto)

Kraštas

Kraštas

Nusklembta

Pakuotė

Pakuotė

Epi-ready su vakuumine pakuote

Kelių plokštelių kasetinė pakuotė

*Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD.

tech_1_2_dydis
SiC plokštelės

Semicera Darbo vieta Semicera darbo vieta 2 Įrangos mašina CNN apdorojimas, cheminis valymas, CVD dengimas Mūsų paslauga


  • Ankstesnis:
  • Kitas: