Semicera didžiuojasi galėdamas pristatytiGa2O3Substratas, pažangiausia medžiaga, pasirengusi pakeisti galios elektroniką ir optoelektroniką.Galio oksidas (Ga2O3) substrataiyra žinomi dėl itin plačios juostos, todėl puikiai tinka didelės galios ir aukšto dažnio įrenginiams.
Pagrindinės funkcijos:
• Itin platus dažnių diapazonas: Ga2O3 siūlo maždaug 4,8 eV dažnių juostą, o tai žymiai pagerina jo gebėjimą atlaikyti aukštą įtampą ir temperatūrą, palyginti su tradicinėmis medžiagomis, tokiomis kaip silicis ir GaN.
• Aukšta gedimo įtampa: su išskirtiniu gedimo laukuGa2O3Substrataspuikiai tinka įrenginiams, kuriems reikalingas aukštos įtampos darbas, užtikrinantis didesnį efektyvumą ir patikimumą.
• Šiluminis stabilumas: Dėl aukščiausios kokybės medžiagos šiluminio stabilumo ji tinkama naudoti ekstremaliose aplinkose, išlaikant našumą net ir atšiauriomis sąlygomis.
• Universalus pritaikymas: idealiai tinka naudoti didelio efektyvumo galios tranzistoriuose, UV optoelektroniniuose įrenginiuose ir kituose įrenginiuose, suteikiant tvirtą pagrindą pažangioms elektroninėms sistemoms.
Patirkite puslaidininkių technologijos ateitį su Semicera'sGa2O3Substratas. Sukurtas taip, kad atitiktų augančius didelės galios ir aukšto dažnio elektronikos poreikius, šis substratas nustato naują našumo ir ilgaamžiškumo standartą. Pasitikėkite Semicera, kad ji pateiks naujoviškus sprendimus sudėtingiausioms jūsų programoms.
| Daiktai | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
| Krištolo parametrai | |||
| Politipas | 4H | ||
| Paviršiaus orientacijos klaida | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriniai parametrai | |||
| Dopantas | n tipo azotas | ||
| Atsparumas | 0,015-0,025 omo cm | ||
| Mechaniniai parametrai | |||
| Skersmuo | 150,0±0,2 mm | ||
| Storis | 350±25 μm | ||
| Pirminė plokščia orientacija | [1–100]±5° | ||
| Pirminis plokščias ilgis | 47,5±1,5 mm | ||
| Antrinis butas | Nėra | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Lankas | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Metmenys | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktūra | |||
| Mikrovamzdžio tankis | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metalo priemaišos | ≤5E10 atomų/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Priekinė kokybė | |||
| Priekyje | Si | ||
| Paviršiaus apdaila | Si-face CMP | ||
| Dalelės | ≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm) | NA | |
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo | Bendras ilgis≤2*Skersmuo | NA |
| Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas | Nėra | NA | |
| Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės | Nėra | ||
| Politipinės zonos | Nėra | Bendras plotas≤20 % | Bendras plotas≤30 % |
| Priekinis lazerinis žymėjimas | Nėra | ||
| Nugaros kokybė | |||
| Nugaros apdaila | C-face CMP | ||
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo | NA | |
| Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos) | Nėra | ||
| Nugaros šiurkštumas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Nugaros lazerinis žymėjimas | 1 mm (nuo viršutinio krašto) | ||
| Kraštas | |||
| Kraštas | Nusklembta | ||
| Pakuotė | |||
| Pakuotė | Epi-ready su vakuumine pakuote Kelių plokštelių kasetinė pakuotė | ||
| *Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD. | |||
