Didelio grynumo SiC nešiklis/susceptorius

Didelio grynumo SiC nešiklio/susceptoriaus vaizdas

Trumpas aprašymas:

Silicio karbido guolių diskas taip pat žinomas kaip SIC dėklas, silicio karbido ėsdinimo diskas, ICP ėsdinimo diskas. Silicio karbido padėklas skirtas LED ėsdinimui (SiC padėklas) φ600mm yra specialus giluminio silicio ėsdinimo priedas (ICP ėsdinimo mašina).

Atsiųskite mums el

Produkto detalė

Produkto etiketės

Aprašymas

Silicio karbido keramika pasižymi puikiomis mechaninėmis savybėmis kambario temperatūroje, pvz., didelio stiprumo, didelio kietumo, didelio elastingumo modulio ir kt., Ji taip pat turi puikų stabilumą aukštoje temperatūroje, pavyzdžiui, didelį šilumos laidumą, mažą šiluminio plėtimosi koeficientą ir gerą specifinį standumą bei optinį. apdorojimo našumas.
Jie ypač tinka gaminti tikslias keramines dalis, skirtas integruotų grandynų įrangai, pavyzdžiui, litografijos mašinoms, daugiausia naudojamoms SiC nešikliui / susceptoriui, SiC plokštelei, čiulpimo diskui, vandens aušinimo plokštei, tikslumo matavimo reflektoriui, grotelėms ir kitoms keraminėms konstrukcinėms dalims gaminti.

vežėjas2

vežėjas3

vežėjas4

Privalumai

Atsparumas aukštai temperatūrai: įprastai naudojamas esant 1800 ℃
Didelis šilumos laidumas: prilygsta grafito medžiagai
Didelis kietumas: kietumas yra antras po deimantų, boro nitrido
Atsparumas korozijai: stipri rūgštis ir šarmai nedaro korozijos, atsparumas korozijai yra geresnis nei volframo karbidas ir aliuminio oksidas
Lengvas svoris: mažo tankio, arti aliuminio
Nėra deformacijos: mažas šiluminio plėtimosi koeficientas
Atsparumas šiluminiam smūgiui: jis gali atlaikyti staigius temperatūros pokyčius, atsparus šiluminiam smūgiui ir turi stabilų veikimą
Silicio karbido laikiklis, pvz., sic ėsdinimo laikiklis, ICP ėsdinimo susceptorius, yra plačiai naudojamas puslaidininkių CVD, vakuuminio purškimo ir tt Mes galime pateikti klientams pritaikytus plokštelinius laikiklius iš silicio ir silicio karbido medžiagų, kad atitiktų įvairius pritaikymus.

Privalumai

Turtas	Vertė	Metodas
Tankis	3,21 g/cc	Kriauklė-plūdė ir matmenys
Specifinė šiluma	0,66 J/g °K	Impulsinė lazerio blykstė
Lenkimo stiprumas	450 MPa560 MPa	4 taškų lenkimas, RT4 taškas, 1300°
Tvirtumas lūžiams	2,94 MPa m1/2	Mikroįdubimas
Kietumas	2800	Vicker's, 500g krovinys
Elastic ModulusYoung modulis	450 GPa430 GPa	4 pt lenkimas, RT4 pt lenkimas, 1300 °C
Grūdų dydis	2–10 µm	SEM

Įmonės profilis

„WeiTai Energy Technology Co., Ltd.“ yra pirmaujanti pažangios puslaidininkinės keramikos tiekėja ir vienintelis gamintojas Kinijoje, galintis vienu metu tiekti didelio grynumo silicio karbido keramiką (ypač perkristalizuotą SiC) ir CVD SiC dangą. Be to, mūsų įmonė taip pat yra įsipareigojusi keramikos laukams, tokiems kaip aliuminio oksidas, aliuminio nitridas, cirkonis, silicio nitridas ir kt.

Mūsų pagrindiniai produktai yra: silicio karbido ėsdinimo diskas, silicio karbido valties vilkimas, silicio karbido plokštelė (fotovoltas ir puslaidininkis), silicio karbido krosnies vamzdis, silicio karbido konsolinis irklas, silicio karbido griebtuvai, silicio karbido sija, taip pat SiC kartu su CVD danga. Produktai, daugiausia naudojami puslaidininkių ir fotoelektros pramonėje, pavyzdžiui, kristalų auginimo, epitaksijos, ėsdinimo, pakavimo, dengimo ir difuzijos krosnyse ir kt.
apie (2)