SiC vaflių valtis
Silicio karbido vaflinė valtisyra apkrovą laikantis įtaisas plokštelėms, daugiausia naudojamas saulės ir puslaidininkių difuzijos procesuose. Jis pasižymi tokiomis savybėmis kaip atsparumas dilimui, atsparumas korozijai, atsparumas smūgiams aukštoje temperatūroje, atsparumas plazmos bombardavimui, aukšta temperatūra, didelis šilumos laidumas, didelis šilumos išsiskyrimas ir ilgalaikis naudojimas, kurį nėra lengva sulenkti ir deformuoti. Mūsų įmonė naudoja didelio grynumo silicio karbido medžiagą, kad užtikrintų tarnavimo laiką, ir siūlo pritaikytus dizainus, įskaitant. įvairios vertikalios ir horizontaliosvaflių valtis.
SiC irklas
Thesilicio karbido konsolinis irklasdaugiausia naudojamas silicio plokštelių (difuzijos) dangai, kuri atlieka lemiamą vaidmenį kraunant ir transportuojant silicio plokšteles aukštoje temperatūroje. Tai yra pagrindinis komponentaspuslaidininkinė plokštelėpakrovimo sistemos ir turi šias pagrindines charakteristikas:
1. Jis nesideformuoja aukštos temperatūros aplinkoje ir turi didelę apkrovos jėgą ant plokštelių;
2. Jis yra atsparus dideliam šalčiui ir greitam karščiui, turi ilgą tarnavimo laiką;
3. Šiluminio plėtimosi koeficientas yra mažas, labai prailginantis priežiūros ir valymo ciklą bei žymiai sumažinantis teršalus.
SiC krosnies vamzdis
Silicio karbido proceso vamzdis, pagamintas iš didelio grynumo SiC be metalinių priemaišų, neteršia plokštelės ir yra tinkamas tokiems procesams kaip puslaidininkinė ir fotovoltinė difuzija, atkaitinimo ir oksidacijos procesai.
SiC roboto rankena
SiC roboto ranka, taip pat žinomas kaip plokštelių perdavimo galutinis efektorius, yra robotas, naudojamas puslaidininkių plokštelėms transportuoti ir plačiai naudojamas puslaidininkių, optoelektronikos ir saulės energijos pramonėje. Naudojant didelio grynumo silicio karbidą, turintį didelį kietumą, atsparumą dilimui, atsparumą seisminiam poveikiui, ilgalaikį naudojimą be deformacijos, ilgą tarnavimo laiką ir tt, galima teikti pritaikytas paslaugas.
Grafitas kristalų auginimui
Grafitinis trijų žiedlapių tiglis
Grafitinis kreipiamasis vamzdis
Grafitinis žiedas
Grafitinis šilumos skydas
Grafito elektrodo vamzdelis
Grafitinis deflektorius
Grafitinis griebtuvas
Visi procesai, naudojami puslaidininkių kristalų auginimui, veikia aukštos temperatūros ir korozinėje aplinkoje. Karštoji kristalų auginimo krosnies zona paprastai yra padengta karščiui atspariu ir atspariu korozijai didelio grynumo. grafito komponentai, tokie kaip grafito šildytuvai, tigliai, cilindrai, deflektorius, griebtuvai, vamzdeliai, žiedai, laikikliai, veržlės ir kt. Mūsų gatavame produkte pelenų kiekis gali būti mažesnis nei 5 ppm.
Grafitas puslaidininkio epitaksijai
Grafito bazė
Grafito epitaksinė statinė
Monokrinis stalinio silicio epitaksinis pagrindas
MOCVD grafito dalys
Puslaidininkinis grafito šviestuvas
Epitaksinis procesas reiškia monokristalinės medžiagos augimą ant vieno kristalo pagrindo, kurio gardelės išdėstymas yra toks pat kaip ir substratas. Tam reikia daug itin gryno grafito dalių ir grafito pagrindo su SIC danga. Aukšto grynumo grafitas, naudojamas puslaidininkių epitaksijai, turi platų pritaikymo spektrą, kuris gali atitikti dažniausiai naudojamą įrangą pramonėje. Tuo pačiu metu jis turi labai aukštą. grynumas, vienoda danga, puikus tarnavimo laikas ir itin didelis cheminis atsparumas bei terminis stabilumas.
Izoliacinės medžiagos ir kt
Puslaidininkių gamyboje naudojamos termoizoliacinės medžiagos yra grafito kietasis veltinys, minkštas veltinis, grafito folija, anglies kompozicinės medžiagos ir kt. Mūsų žaliavos yra importuotos grafito medžiagos, kurios gali būti pjaustomos pagal klientų specifikacijas, taip pat gali būti parduodamos kaip visa. Anglies kompozicinė medžiaga paprastai naudojama kaip nešiklis saulės monokristalų ir polisilicio elementų gamybos procese.