Semicera pristato aukštos kokybės užsakymąsilicio karbido konsolinės mentelėssukurta siekiant pagerinti puslaidininkių gamybos procesus. NovatoriškasSiC irklasdizainas užtikrina išskirtinį ilgaamžiškumą ir aukštą šiluminę varžą, todėl tai yra esminis elementas tvarkant plokšteles sudėtingoje aukštos temperatūros aplinkoje.
TheSilicio karbido irklassukurtas taip, kad atlaikytų ekstremalius šiluminius ciklus, išlaikant konstrukcijos vientisumą, užtikrinant patikimą plokštelių transportavimą kritinėse puslaidininkių gamybos fazėse. Su puikiu mechaniniu stiprumu, taivaflių valtissumažina plokštelių pažeidimo riziką, todėl gaunamas didesnis derlius ir pastovi gamybos kokybė.
Viena iš pagrindinių Semicera SiC irklų naujovių yra pritaikytos dizaino galimybės. Pritaikytas prie konkrečių gamybos poreikių, irklas siūlo lankstumą integruojantis su įvairiomis įrangos sąrankomis, todėl yra idealus sprendimas šiuolaikiniams gamybos procesams. Lengva, bet tvirta konstrukcija leidžia lengvai valdyti ir sumažina veikimo prastovos laiką, o tai prisideda prie geresnio puslaidininkių gamybos efektyvumo.
Be šiluminių ir mechaninių savybių,Silicio karbido irklaspasižymi puikiu cheminiu atsparumu, leidžiančiu patikimai veikti net atšiaurioje cheminėje aplinkoje. Dėl to jis ypač tinkamas naudoti procesuose, apimančiuose ėsdinimą, nusodinimą ir apdorojimą aukštoje temperatūroje, kai norint užtikrinti aukštos kokybės produkciją, labai svarbu išlaikyti plokštelės vientisumą.
Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
Turtas | Tipinė vertė |
Darbinė temperatūra (°C) | 1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka) |
SiC turinys | > 99,96 % |
Nemokamas Si turinys | < 0,1 % |
Tūrinis tankis | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tariamas poringumas | < 16 % |
Suspaudimo stiprumas | > 600 MPa |
Šalto lenkimo stiprumas | 80–90 MPa (20 °C) |
Stiprumas karštam lenkimui | 90–100 MPa (1400 °C) |
Šiluminis plėtimasis @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Šilumos laidumas @1200°C | 23 W/m•K |
Tamprumo modulis | 240 GPa |
Atsparumas šiluminiam smūgiui | Be galo geras |