Semicera pristato aukštos kokybės puslaidininkiussilicio karbido konsolinės mentelės, sukurtas taip, kad atitiktų griežtus šiuolaikinės puslaidininkių gamybos reikalavimus.
Thesilicio karbido irklaspasižymi pažangia konstrukcija, kuri sumažina šiluminį plėtimąsi ir deformaciją, todėl yra labai patikima ekstremaliomis sąlygomis. Jo tvirta konstrukcija užtikrina didesnį patvarumą, sumažindama lūžimo ar susidėvėjimo riziką, o tai labai svarbu norint išlaikyti didelį derlių ir pastovią gamybos kokybę. Thevaflių valtisdizainas taip pat sklandžiai integruojamas su standartine puslaidininkių apdorojimo įranga, užtikrinant suderinamumą ir patogumą naudoti.
Viena iš išskirtinių Semicera savybiųSiC irklasyra jo cheminis atsparumas, kuris leidžia išskirtinai gerai veikti aplinkoje, kurioje veikia korozinės dujos ir cheminės medžiagos. „Semicera“ dėmesys pritaikymui leidžia priimti pritaikytus sprendimus.
Perkristalizuoto silicio karbido fizinės savybės | |
Turtas | Tipinė vertė |
Darbinė temperatūra (°C) | 1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka) |
SiC turinys | > 99,96 % |
Nemokamas Si turinys | < 0,1 % |
Tūrinis tankis | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tariamas poringumas | < 16 % |
Suspaudimo stiprumas | > 600 MPa |
Šalto lenkimo stiprumas | 80–90 MPa (20 °C) |
Stiprumas karštam lenkimui | 90–100 MPa (1400 °C) |
Šiluminis plėtimasis @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Šilumos laidumas @1200°C | 23 W/m•K |
Tamprumo modulis | 240 GPa |
Atsparumas šiluminiam smūgiui | Be galo geras |