Izostatinė PECVD grafito valtis

Izostatinis PECVD grafito laivas Teminis vaizdas

Trumpas aprašymas:

Izostatinis PECVD grafito laivas yra plačiai naudojamas įvairiose puslaidininkių gamybos srityse, pvz., polisilicio plėvelės nusodinimo, oksido plėvelės nusodinimo, nitrido plėvelės nusodinimo ir kt. Dėl puikių eksploatacinių savybių jis yra idealus plokštelių laikiklis PECVD procese.

Siųskite mums el

Produkto detalė

Produkto etiketės

SEMICERA izostatinė PECVD grafito valtis yra didelio grynumo, didelio tankio grafito gaminys, skirtas PECVD (plazmoje sustiprinto cheminio garų nusodinimo) procese. SEMICERA naudoja pažangią izostatinio presavimo technologiją, užtikrinančią puikų grafito laivo atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą korozijai, matmenų stabilumą ir gerą šilumos laidumą, o tai yra nepakeičiama medžiaga puslaidininkių gamybos procese.

SEMICERA izostatinė PECVD grafito valtis turi šiuos privalumus:

▪ Didelis grynumas: grafito medžiaga yra labai gryna ir turi mažai priemaišų, kad būtų išvengta plokštelės paviršiaus užteršimo.

▪ Didelis tankis: didelis tankis, didelis mechaninis stiprumas, gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir didelį vakuumą.

▪ Geras matmenų stabilumas: nedidelis matmenų pokytis aukštoje temperatūroje, siekiant užtikrinti proceso stabilumą.

▪ Puikus šilumos laidumas: efektyviai perduoda šilumą, kad būtų išvengta plokštelės perkaitimo.

▪ Stiprus atsparumas korozijai: gali atsispirti įvairių korozinių dujų ir plazmos erozijai.

Našumo parametras	semicera	SGL R6510	Našumo parametras
Tūrinis tankis (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Lenkimo stipris (MPa)	63	60	49
Stipris gniuždymui (MPa)	135	130	103
Šoro kietumas (HS)	70	64	60
Šiluminio plėtimosi koeficientas (10-6/K)	85	105	130
Šiluminio plėtimosi koeficientas (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Atsparumas (μΩm)	11-13	13	10

Privalumai renkantis mus:
▪ Medžiagų parinkimas: Produkto kokybei užtikrinti naudojamos didelio grynumo grafito medžiagos.
▪ Apdorojimo technologija: Produkto tankumui ir vienodumui užtikrinti naudojamas izostatinis presavimas.
▪ Dydžių pritaikymas: Įvairių dydžių ir formų grafito valtys gali būti pritaikytos pagal klientų poreikius.
▪ Paviršiaus apdorojimas: Siūlomi įvairūs paviršiaus apdorojimo metodai, pavyzdžiui, dengimas silicio karbidu, boro nitridu ir kt., kad atitiktų skirtingus proceso reikalavimus.