PART/1CVD (cheminis nusodinimas iš garų) metodas: 900–2300 ℃ temperatūroje, naudojant TaCl5 ir CnHm kaip tantalo ir anglies šaltinius, H2 kaip redukuojančią atmosferą, Ar₂as nešančias dujas, reakcijos nusodinimo plėvelę. Paruošta danga yra kompaktiška, vienoda ir didelio grynumo. Tačiau yra keletas problemų...
Skaityti daugiau