P tipo SiC substrato plokštelė

Trumpas aprašymas:

„Semicera“ P tipo SiC substrato plokštelė yra sukurta aukščiausios kokybės elektroninėms ir optoelektroninėms reikmėms. Šios plokštelės užtikrina išskirtinį laidumą ir šiluminį stabilumą, todėl puikiai tinka didelio našumo įrenginiams. Su Semicera tikėkitės tikslumo ir patikimumo savo P tipo SiC substrato plokštelėse.


Produkto detalė

Produkto etiketės

Semicera P tipo SiC substrato plokštelė yra pagrindinis komponentas kuriant pažangius elektroninius ir optoelektroninius įrenginius. Šios plokštelės yra specialiai sukurtos siekiant užtikrinti didesnį našumą didelės galios ir aukštos temperatūros aplinkoje, palaikant augančią efektyvių ir patvarių komponentų paklausą.

P tipo legiravimas mūsų SiC plokštelėse užtikrina geresnį elektros laidumą ir krūvininkų mobilumą. Dėl to jie ypač tinkami galios elektronikai, šviesos diodams ir fotovoltiniams elementams, kur svarbūs maži galios nuostoliai ir didelis efektyvumas.

Semicera P tipo SiC plokštelės, pagamintos laikantis aukščiausių tikslumo ir kokybės standartų, pasižymi puikiu paviršiaus vienodumu ir minimaliu defektų lygiu. Šios savybės yra gyvybiškai svarbios pramonės šakoms, kuriose būtinas nuoseklumas ir patikimumas, pavyzdžiui, aviacijos, automobilių ir atsinaujinančios energijos sektoriuose.

„Semicera“ atsidavimas naujovėms ir kompetencijai yra akivaizdus mūsų P tipo SiC substrato plokštelėje. Integruodami šias plokšteles į savo gamybos procesą, užtikrinate, kad jūsų prietaisai gaus naudos iš išskirtinių šiluminių ir elektrinių SiC savybių, leidžiančių jiems efektyviai veikti sudėtingomis sąlygomis.

Investuoti į Semicera P tipo SiC substrato plokštelę reiškia pasirinkti produktą, kuriame pažangiausi medžiagų mokslai derinami su kruopščia inžinerija. „Semicera“ yra skirta palaikyti naujos kartos elektronines ir optoelektronines technologijas, teikiančias esminius komponentus, reikalingus jūsų sėkmei puslaidininkių pramonėje.

Daiktai

Gamyba

Tyrimas

Manekenas

Krištolo parametrai

Politipas

4H

Paviršiaus orientacijos klaida

<11-20 >4±0,15°

Elektriniai parametrai

Dopantas

n tipo azotas

Atsparumas

0,015-0,025 omo cm

Mechaniniai parametrai

Skersmuo

150,0±0,2 mm

Storis

350±25 μm

Pirminė plokščia orientacija

[1–100]±5°

Pirminis plokščias ilgis

47,5±1,5 mm

Antrinis butas

Nėra

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤ 3 μm (5 mm * 5 mm)

≤5 μm (5 mm * 5 mm)

≤10 μm (5 mm * 5 mm)

Lankas

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Metmenys

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktūra

Mikrovamzdžio tankis

<1 e/cm2

<10 e/cm2

<15 e/cm2

Metalo priemaišos

≤5E10 atomų/cm2

NA

BPD

≤1500 e/cm2

≤3000 e/cm2

NA

TSD

≤500 e/cm2

≤1000 e/cm2

NA

Priekinė kokybė

Priekyje

Si

Paviršiaus apdaila

Si-face CMP

Dalelės

≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm)

NA

Įbrėžimai

≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo

Bendras ilgis≤2*Skersmuo

NA

Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas

Nėra

NA

Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės

Nėra

Politipinės zonos

Nėra

Bendras plotas≤20 %

Bendras plotas≤30 %

Priekinis lazerinis žymėjimas

Nėra

Nugaros kokybė

Nugaros apdaila

C-face CMP

Įbrėžimai

≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo

NA

Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos)

Nėra

Nugaros šiurkštumas

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Nugaros lazerinis žymėjimas

1 mm (nuo viršutinio krašto)

Kraštas

Kraštas

Nusklembta

Pakuotė

Pakuotė

Epi-ready su vakuumine pakuote

Kelių plokštelių kasetinė pakuotė

*Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD.

tech_1_2_dydis
SiC plokštelės

  • Ankstesnis:
  • Kitas: