Semiceramielai siūloPFA kasetė, aukščiausios kokybės pasirinkimas vaflių tvarkymui aplinkoje, kurioje svarbiausias yra atsparumas cheminėms medžiagoms ir ilgaamžiškumas. Pagaminta iš didelio grynumo perfluoralkoksi (PFA) medžiagos, ši kasetė sukurta taip, kad atlaikytų sudėtingiausias puslaidininkių gamybos sąlygas, užtikrinant jūsų plokštelių saugumą ir vientisumą.
Neprilygstamas cheminis atsparumasThePFA kasetėyra sukurtas taip, kad būtų ypač atsparus įvairioms cheminėms medžiagoms, todėl yra puikus pasirinkimas procesams, kuriuose naudojamos agresyvios rūgštys, tirpikliai ir kitos stiprios cheminės medžiagos. Šis tvirtas cheminis atsparumas užtikrina, kad kasetė išliks nepažeista ir funkcionali net labiausiai korozinėje aplinkoje, taip prailginant jos eksploatavimo laiką ir sumažinant poreikį dažnai keisti.
Aukšto grynumo konstrukcijaSemiceraPFA kasetėyra pagamintas iš ypač grynos PFA medžiagos, kuri yra labai svarbi siekiant išvengti užteršimo plokštelių apdorojimo metu. Ši didelio grynumo konstrukcija sumažina dalelių susidarymo ir cheminio išplovimo riziką, užtikrindama, kad plokštelės būtų apsaugotos nuo priemaišų, galinčių pakenkti jų kokybei.
Padidintas ilgaamžiškumas ir našumasSukurtas ilgaamžiškumui,PFA kasetėišlaiko struktūrinį vientisumą esant ekstremalioms temperatūroms ir griežtoms apdorojimo sąlygoms. Nepriklausomai nuo to, ar veikiama aukštoje temperatūroje, ar pakartotinai naudojama, ši kasetė išlaiko savo formą ir veikimą, todėl užtikrina ilgalaikį patikimumą sudėtingoje gamybos aplinkoje.
Tiksli inžinerija saugiam valdymuiTheSemicera PFA kasetėpasižymi tikslia inžinerija, užtikrinančia saugų ir stabilų plokštelių tvarkymą. Kiekvienas lizdas yra kruopščiai suprojektuotas taip, kad plokštelės būtų tvirtai laikomos savo vietoje, kad būtų išvengta judėjimo ar pasislinkimo, dėl kurio gali būti pažeista. Ši tiksli inžinerija palaiko nuoseklų ir tikslų plokštelių išdėstymą, prisidedant prie bendro proceso efektyvumo.
Universalus pritaikymas visuose procesuoseDėl savo puikių medžiagų savybių,PFA kasetėyra pakankamai universalus, kad būtų galima naudoti įvairiuose puslaidininkių gamybos etapuose. Jis ypač gerai tinka šlapiam ėsdinimui, cheminiam garų nusodinimui (CVD) ir kitiems procesams, susijusiems su atšiauria chemine aplinka. Dėl savo pritaikomumo jis yra esminis įrankis palaikant proceso vientisumą ir plokštelių kokybę.
Įsipareigojimas kokybei ir naujovėms„Semicera“ įsipareigoja teikti produktus, atitinkančius aukščiausius pramonės standartus. ThePFA kasetėTai rodo šį įsipareigojimą ir siūlo patikimą sprendimą, kuris sklandžiai integruojamas į jūsų gamybos procesus. Kiekviena kasetė yra griežtai kontroliuojama kokybės, siekiant užtikrinti, kad ji atitiktų mūsų griežtus našumo kriterijus ir būtų tobula, kurios tikitės iš Semicera.
| Daiktai | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
| Krištolo parametrai | |||
| Politipas | 4H | ||
| Paviršiaus orientacijos klaida | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriniai parametrai | |||
| Dopantas | n tipo azotas | ||
| Atsparumas | 0,015-0,025 omo cm | ||
| Mechaniniai parametrai | |||
| Skersmuo | 150,0±0,2 mm | ||
| Storis | 350±25 μm | ||
| Pirminė plokščia orientacija | [1–100]±5° | ||
| Pirminis plokščias ilgis | 47,5±1,5 mm | ||
| Antrinis butas | Nėra | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Lankas | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Metmenys | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktūra | |||
| Mikrovamzdžio tankis | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metalo priemaišos | ≤5E10 atomų/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Priekinė kokybė | |||
| Priekyje | Si | ||
| Paviršiaus apdaila | Si-face CMP | ||
| Dalelės | ≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm) | NA | |
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo | Bendras ilgis≤2*Skersmuo | NA |
| Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas | Nėra | NA | |
| Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės | Nėra | ||
| Politipinės zonos | Nėra | Bendras plotas≤20 % | Bendras plotas≤30 % |
| Priekinis lazerinis žymėjimas | Nėra | ||
| Nugaros kokybė | |||
| Nugaros apdaila | C-face CMP | ||
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo | NA | |
| Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos) | Nėra | ||
| Nugaros šiurkštumas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Nugaros lazerinis žymėjimas | 1 mm (nuo viršutinio krašto) | ||
| Kraštas | |||
| Kraštas | Nusklembta | ||
| Pakuotė | |||
| Pakuotė | Epi-ready su vakuumine pakuote Kelių plokštelių kasetinė pakuotė | ||
| *Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD. | |||
