RTPCVD SiC žiedaiyra plačiai naudojami pramonės ir mokslo srityse aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Jis vaidina svarbų vaidmenį puslaidininkių gamyboje, optoelektronikoje, tiksliųjų mašinų ir chemijos pramonėje. Konkrečios programos apima:
1. Puslaidininkių gamyba:RTP CVD SiC žiedaigali būti naudojamas puslaidininkinės įrangos šildymui ir aušinimui, užtikrinantis stabilų temperatūros valdymą ir proceso tikslumą bei nuoseklumą.
2. Optoelektronika: dėl puikaus šilumos laidumo ir atsparumo aukštai temperatūrai RTPCVD SiC žiedaigali būti naudojamos kaip lazerių, šviesolaidinio ryšio įrangos ir optinių komponentų pagalbinės ir šilumos išsklaidymo medžiagos.
3. Tikslioji mašina: RTP CVD SiC žiedai gali būti naudojami tiksliesiems instrumentams ir įrangai aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje, pavyzdžiui, aukštos temperatūros krosnyse, vakuuminiuose įrenginiuose ir cheminiuose reaktoriuose.
4. Chemijos pramonė: dėl atsparumo korozijai ir cheminio stabilumo RTP CVD SiC žiedai gali būti naudojami konteineriuose, vamzdžiuose ir reaktoriuose atliekant chemines reakcijas ir katalizinius procesus.
Epi sistema
RTP sistema
CVD sistema
Produkto našumas:
1. Vykdykite procesą žemiau 28 nm
2. Super atsparumas korozijai
3. Super švarus veikimas
4. Super kietumas
5. Didelis tankis
6. Atsparumas aukštai temperatūrai
7. Atsparumas dilimui
Produkto taikymas:
Silicio karbido medžiagos pasižymi dideliu kietumu, atsparumu dilimui, atsparumu korozijai ir aukštai temperatūrai. Produktai, pasižymintys puikiomis visapusiškomis savybėmis, yra plačiai naudojami sauso ėsdinimo ir TF / difuzijos procesuose.
Produkto našumas:
1. Vykdykite procesą žemiau 28 nm
2. Super atsparumas korozijai
3. Super švarus veikimas
4. Super kietumas
5. Didelis tankis
6. Atsparumas aukštai temperatūrai
7. Atsparumas dilimui
Sudėtinio proceso kūrimas:
• Grafito +SiC danga
• Kietas CVD SiC
• Sukepintas SiC+CVD
• SicSintered SiC
Kelių produktų tipų kūrimas:
• Žiedas
• Lentelė
• Susceptorius
• Dušo galvutė