Silicio karbidu padengtas cilindrinis susceptorius, skirtas epitaksiniam vaferiui

Silicio karbidu padengtas cilindrinis susceptorius, skirtas plokšteliniam epitaksiniam vaizdui

Trumpas aprašymas:

„Semicera“ siūlo platų susceptorių ir grafito komponentų asortimentą, skirtą įvairiems epitaksiniams reaktoriams.

Strategiškai bendradarbiaudama su pirmaujančiais pramonės originalios įrangos gamintojais, plačią medžiagų patirtį ir pažangias gamybos galimybes, Semicera pristato pritaikytus dizainus, atitinkančius konkrečius jūsų programos reikalavimus. Mūsų įsipareigojimas siekti meistriškumo užtikrina, kad gausite optimalius sprendimus savo epitaksinio reaktoriaus poreikiams tenkinti.

Siųskite mums el

Produkto detalė

Produkto etiketės

Mūsų įmonė teikiaSiC dangagrafito, keramikos ir kitų medžiagų paviršių apdorojimo paslaugos CVD metodu, kad specialios dujos, turinčios anglies ir silicio, galėtų reaguoti aukštoje temperatūroje ir susidarytų labai grynos sic molekulės, kurios gali būti nusodinamos ant dengtų medžiagų paviršiaus, kad susidarytųSiC apsauginis sluoksnisepitaksijos statinės tipo hi pnotic.

Pagrindinės savybės:

1 .Aukšto grynumo SiC dengtas grafitas

2. Superior atsparumas karščiui ir šiluminis vienodumas

3. PuikuPadengtas SiC kristalaislygiam paviršiui

4. Didelis patvarumas nuo cheminio valymo

SiC padengtas cilindrinis susceptorius, skirtas epitaksiniam plokšteliniam sluoksniui

Pagrindinės specifikacijosCVD-SIC danga

SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminė plėtra (CTE)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300