SemicerapristatoPuslaidininkinė kasetė, esminė priemonė saugiam ir efektyviam plokštelių tvarkymui per visą puslaidininkių gamybos procesą. Sukurta labai tiksliai, ši kasetė užtikrina, kad jūsų plokštelės būtų saugiai laikomos ir transportuojamos, išlaikant jų vientisumą kiekviename etape.
Aukščiausia apsauga ir ilgaamžiškumasThePuslaidininkinė kasetėiš Semicera yra sukurta siekiant užtikrinti maksimalią jūsų plokštelių apsaugą. Pagaminta iš tvirtų, užteršimui atsparių medžiagų, ji apsaugo jūsų plokšteles nuo galimos žalos ir užteršimo, todėl yra idealus pasirinkimas švarioje patalpoje. Kasetės konstrukcija sumažina dalelių susidarymą ir užtikrina, kad plokštelės išliks nepaliestos ir saugios tvarkant ir transportuojant.
Patobulintas dizainas, užtikrinantis optimalų našumąSemiceraPuslaidininkinė kasetėpasižymi kruopščiai sukonstruotu dizainu, kuris užtikrina tikslų plokštelių išlygiavimą, sumažindamas nesutapimo ir mechaninių pažeidimų riziką. Kasetės lizdai yra puikiai išdėstyti, kad būtų galima saugiai laikyti kiekvieną plokštelę, neleidžiant judėti, dėl kurio gali atsirasti įbrėžimų ar kitų netobulumų.
Universalumas ir suderinamumasThePuslaidininkinė kasetėyra universalus ir suderinamas su įvairių dydžių plokštelėmis, todėl tinka įvairiems puslaidininkių gamybos etapams. Nesvarbu, ar dirbate su standartinių, ar nestandartinių plokštelių matmenimis, ši kasetė prisitaiko prie jūsų poreikių ir suteikia lankstumo jūsų gamybos procesuose.
Supaprastintas valdymas ir efektyvumasSukurta atsižvelgiant į vartotoją,Semicera puslaidininkinė kasetėyra lengvas ir lengvai valdomas, todėl galima greitai ir efektyviai pakrauti ir iškrauti. Ši ergonomiška konstrukcija ne tik taupo laiką, bet ir sumažina žmogiškųjų klaidų riziką, užtikrindama sklandų darbą jūsų įrenginyje.
Pramonės standartų atitikimasSemicera užtikrina, kadPuslaidininkinė kasetėatitinka aukščiausius pramonės kokybės ir patikimumo standartus. Kiekviena kasetė yra kruopščiai išbandoma, siekiant užtikrinti, kad ji nuosekliai veiktų sudėtingomis puslaidininkių gamybos sąlygomis. Šis atsidavimas kokybei užtikrina, kad jūsų plokštelės visada būtų apsaugotos, išlaikant aukštus pramonės standartus.
| Daiktai | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
| Krištolo parametrai | |||
| Politipas | 4H | ||
| Paviršiaus orientacijos klaida | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriniai parametrai | |||
| Dopantas | n tipo azotas | ||
| Atsparumas | 0,015-0,025 omo cm | ||
| Mechaniniai parametrai | |||
| Skersmuo | 150,0±0,2 mm | ||
| Storis | 350±25 μm | ||
| Pirminė plokščia orientacija | [1–100]±5° | ||
| Pirminis plokščias ilgis | 47,5±1,5 mm | ||
| Antrinis butas | Nėra | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Lankas | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Metmenys | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktūra | |||
| Mikrovamzdžio tankis | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metalo priemaišos | ≤5E10 atomų/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Priekinė kokybė | |||
| Priekyje | Si | ||
| Paviršiaus apdaila | Si-face CMP | ||
| Dalelės | ≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm) | NA | |
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo | Bendras ilgis≤2*Skersmuo | NA |
| Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas | Nėra | NA | |
| Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės | Nėra | ||
| Politipinės zonos | Nėra | Bendras plotas≤20 % | Bendras plotas≤30 % |
| Priekinis lazerinis žymėjimas | Nėra | ||
| Nugaros kokybė | |||
| Nugaros apdaila | C-face CMP | ||
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo | NA | |
| Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos) | Nėra | ||
| Nugaros šiurkštumas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Nugaros lazerinis žymėjimas | 1 mm (nuo viršutinio krašto) | ||
| Kraštas | |||
| Kraštas | Nusklembta | ||
| Pakuotė | |||
| Pakuotė | Epi-ready su vakuumine pakuote Kelių plokštelių kasetinė pakuotė | ||
| *Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD. | |||
