Aprašymas
MOCVD substrato šildytuvas, šildymo elementai MOCVD
Grafitinis šildytuvas:
Grafito šildytuvo komponentai naudojami aukštos temperatūros krosnyje, kurios temperatūra siekia 2200 laipsnių vakuuminėje aplinkoje ir 3000 laipsnių deoksiduotų ir įterptų dujų aplinkoje.
Pagrindinės grafito šildytuvo savybės
1. šildymo struktūros vienodumas.
2. geras elektros laidumas ir didelė elektros apkrova.
3. atsparumas korozijai.
4. neoksiduojamumas.
5. didelis cheminis grynumas.
6. didelis mechaninis stiprumas.
Privalumas – efektyvus energijos suvartojimas, didelė vertė ir maža priežiūra.
Galime pagaminti antioksidacinį ir ilgo tarnavimo laiko grafito tiglį, grafito formą ir visas grafito šildytuvo dalis.
Cheminis grafitas
Privalumas: atsparumas aukštai temperatūrai
Taikymas: MOCVD / vakuuminė krosnis / karštoji zona
Tūrinis tankis:1,68-1,91g/cm3
Lenkimo stipris: 30-46Mpa
Atsparumas: 7-12μΩm
Pagrindiniai grafito šildytuvo parametrai
| Techninė specifikacija | VET-M3 |
| Tūrinis tankis (g/cm3) | ≥1,85 |
| Pelenų turinys (PPM) | ≤500 |
| Šoro kietumas | ≥45 |
| Savitasis pasipriešinimas (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Lenkiamasis stiprumas (Mpa) | ≥40 |
| Suspaudimo stiprumas (Mpa) | ≥70 |
| Maks. Grūdelių dydis (μm) | ≤43 |
| Šiluminio plėtimosi koeficientas Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitinis elektrinės krosnies šildytuvas pasižymi atsparumu karščiui, atsparumu oksidacijai, geru elektros laidumu ir geresniu mechaniniu intensyvumu. Galime apdirbti įvairių tipų grafito šildytuvus pagal klientų dizainą.
Įmonės profilis
„WeiTai Energy Technology Co., Ltd.“ yra pirmaujanti pažangios puslaidininkinės keramikos tiekėja ir vienintelis gamintojas Kinijoje, galintis vienu metu tiekti didelio grynumo silicio karbido keramiką (ypač perkristalizuotą SiC) ir CVD SiC dangą. Be to, mūsų įmonė taip pat yra įsipareigojusi keramikos laukams, tokiems kaip aliuminio oksidas, aliuminio nitridas, cirkonis, silicio nitridas ir kt.
Mūsų pagrindiniai produktai yra: silicio karbido ėsdinimo diskas, silicio karbido valties vilkimas, silicio karbido plokštelė (fotovoltas ir puslaidininkis), silicio karbido krosnies vamzdis, silicio karbido konsolinis irklas, silicio karbido griebtuvai, silicio karbido sija, taip pat SiC kartu su CVD danga. Produktai, daugiausia naudojami puslaidininkių ir fotoelektros pramonėje, pavyzdžiui, kristalų auginimo, epitaksijos, ėsdinimo, pakavimo, dengimo ir difuzijos krosnyse ir kt.
Mūsų įmonė turi visą gamybos įrangą, tokią kaip liejimo, sukepinimo, apdirbimo, dengimo įranga ir kt., kuri gali užbaigti visas būtinas gaminio gamybos grandis ir turėti didesnį gaminio kokybės valdymą; Optimalus gamybos planas gali būti parenkamas pagal prekės poreikius, dėl to sumažėja savikaina ir pateikiami klientams konkurencingesni produktai; Galime lanksčiai ir efektyviai planuoti gamybą pagal užsakymo pristatymo reikalavimus ir kartu su internetinėmis užsakymų valdymo sistemomis, suteikdami klientams greitesnį ir garantuotą pristatymo laiką.
