Aprašymas
„Semicorex“ plokštelių laikikliai su SiC danga užtikrina išskirtinį šiluminį stabilumą ir laidumą, užtikrina vienodą šilumos pasiskirstymą CVD procesų metu, o tai labai svarbu aukštos kokybės plonos plėvelės ir dangos charakteristikoms.
Pagrindinės funkcijos:
1. Puikus terminis stabilumas ir laidumasMūsų SiC padengti plokštelių laikikliai puikiai išlaiko stabilią ir pastovią temperatūrą, kuri yra labai svarbi CVD procesams. Tai užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą, o tai užtikrina puikią plonos plėvelės ir dangos kokybę.
2. Tikslioji gamybaKiekvienas plokštelių laikiklis yra pagamintas pagal griežtus standartus, užtikrinant vienodą storį ir paviršiaus lygumą. Šis tikslumas yra gyvybiškai svarbus norint pasiekti nuoseklų nusodinimo greitį ir plėvelės savybes keliose plokštelėse, o tai pagerina bendrą gamybos kokybę.
3. Priemaišų barjerasSiC danga veikia kaip nepralaidi barjera, neleidžianti priemaišoms difuzuoti iš susceptoriaus į plokštelę. Tai sumažina užteršimo riziką, kuri yra labai svarbi gaminant didelio grynumo puslaidininkinius įtaisus.
4. Patvarumas ir ekonomiškumasTvirta konstrukcija ir SiC danga padidina plokštelių laikiklių ilgaamžiškumą ir sumažina suskeptorių keitimo dažnumą. Tai sumažina priežiūros išlaidas ir sumažina prastovų laiką, padidina puslaidininkių gamybos operacijų efektyvumą.
5. Tinkinimo parinktysSemicorex plokštelių laikikliai su SiC danga gali būti pritaikyti, kad atitiktų specifinius proceso reikalavimus, įskaitant dydžio, formos ir dangos storio skirtumus. Šis lankstumas leidžia optimizuoti susceptorių, kad jis atitiktų unikalius skirtingų puslaidininkių gamybos procesų poreikius. Tinkinimo parinktys leidžia kurti specialioms reikmėms pritaikytus susceptorių dizainus, tokius kaip didelės apimties gamyba arba moksliniai tyrimai ir plėtra, užtikrinant optimalų veikimą konkrečiais naudojimo atvejais.
Programos:
Semicera plokštelių laikikliai su SiC danga idealiai tinka:
• Puslaidininkinių medžiagų epitaksinis augimas
• Cheminio nusodinimo garais (CVD) procesai
• Kokybiškų puslaidininkinių plokštelių gamyba
• Pažangios puslaidininkių gamybos programos