Aprašymas
Mūsų įmonė teikiaSiC dangaapdorojimo paslaugos CVD metodu grafito, keramikos ir kitų medžiagų paviršiuje, kad specialios dujos, turinčios anglies ir silicio, reaguodamos aukštoje temperatūroje gautų didelio grynumo SiC molekules, molekules, nusėdusias ant paviršiaus.padengtasmedžiagos, suformuojančios SIC apsauginį sluoksnį.
SiC dušo galvučių charakteristikos yra šios:
1. Atsparumas korozijai: SiC medžiaga turi puikų atsparumą korozijai ir gali atlaikyti įvairių cheminių skysčių ir tirpalų eroziją bei tinka įvairiems cheminio apdorojimo ir paviršiaus apdorojimo procesams.
2. Aukštos temperatūros stabilumas:SiC purkštukaigali išlaikyti konstrukcijos stabilumą esant aukštai temperatūrai ir yra tinkamas naudoti, kai reikia apdoroti aukštą temperatūrą.
3. Vienodas purškimas:SiC antgalisdizainas turi gerą purškimo valdymo efektyvumą, kuris gali pasiekti vienodą skysčio pasiskirstymą ir užtikrinti, kad apdorojimo skystis būtų tolygiai padengtas tiksliniame paviršiuje.
4. Didelis atsparumas dilimui: SiC medžiaga turi didelį kietumą ir atsparumą dilimui ir gali atlaikyti ilgalaikį naudojimą ir trintį.
SiC dušo galvutės plačiai naudojamos skysčių apdorojimo procesuose puslaidininkių gamyboje, cheminiame apdirbime, paviršių dengime, galvanizuojant ir kitose pramonės srityse. Jis gali užtikrinti stabilų, vienodą ir patikimą purškimo poveikį, kad būtų užtikrinta apdorojimo ir apdorojimo kokybė ir nuoseklumas.
Pagrindinės savybės
1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje:
atsparumas oksidacijai išlieka labai geras, kai temperatūra siekia net 1600 C.
2. Didelis grynumas: pagamintas cheminiu garų nusodinimu aukštoje temperatūroje chloruojant.
3. Atsparumas erozijai: didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
4. Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
| SiC-CVD savybės | ||
| Kristalinė struktūra | FCC β fazė | |
| Tankis | g/cm³ | 3.21 |
| Kietumas | Vickerso kietumas | 2500 |
| Grūdų dydis | μm | 2~10 |
| Cheminis grynumas | % | 99.99995 |
| Šilumos talpa | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimacijos temperatūra | ℃ | 2700 |
| Feleksualinė jėga | MPa (RT 4 taškai) | 415 |
| Youngo modulis | Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) | 430 |
| Šiluminė plėtra (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Šilumos laidumas | (W/mK) | 300 |
