Produkto apžvalga
TheSiliciu impregnuotas silicio karbidas (SiC) irklas ir plokštelių laikiklisyra sukurta taip, kad atitiktų puslaidininkių terminio apdorojimo reikalavimus. Pagaminta iš didelio grynumo SiC ir sustiprinta impregnuojant silicį, šis gaminys pasižymi unikaliu veikimu aukštoje temperatūroje, puikiu šilumos laidumu, atsparumu korozijai ir išskirtiniu mechaniniu stiprumu.
Integruojant pažangų medžiagų mokslą ir tikslią gamybą, šis sprendimas užtikrina puikų našumą, patikimumą ir ilgaamžiškumą puslaidininkių gamintojams.
Pagrindinės savybės
1.Išskirtinis atsparumas aukštai temperatūrai
Kai lydymosi temperatūra viršija 2700°C, SiC medžiagos yra stabilios esant dideliam karščiui. Silicio impregnavimas dar labiau padidina jų šiluminį stabilumą, todėl jie gali atlaikyti ilgalaikį aukštų temperatūrų poveikį be struktūros susilpnėjimo ar veikimo pablogėjimo.
2.Puikus šilumos laidumas
Išskirtinis siliciu impregnuoto SiC šilumos laidumas užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą, sumažindamas šiluminį įtampą kritiniuose apdorojimo etapuose. Ši savybė prailgina įrangos eksploatavimo laiką ir sumažina gamybos prastovos laiką, todėl ji idealiai tinka terminiam apdorojimui aukštoje temperatūroje.
3.Atsparumas oksidacijai ir korozijai
Natūraliai ant paviršiaus susidaro tvirtas silicio oksido sluoksnis, užtikrinantis išskirtinį atsparumą oksidacijai ir korozijai. Tai užtikrina ilgalaikį patikimumą atšiaurioje darbo aplinkoje, apsaugodama tiek medžiagą, tiek aplinkinius komponentus.
4.Didelis mechaninis stiprumas ir atsparumas dilimui
Siliciu impregnuotas SiC pasižymi puikiu atsparumu gniuždymui ir atsparumu dilimui, išlaiko struktūrinį vientisumą esant didelėms apkrovoms ir aukštai temperatūrai. Tai sumažina su nusidėvėjimu susijusių pažeidimų riziką ir užtikrina pastovų veikimą ilgesnius naudojimo ciklus.
Specifikacijos
| Produkto pavadinimas | SC-RSiC-Si |
| Medžiaga | Silicio impregnavimas, kompaktiškas silicio karbidas (didelio grynumo) |
| Programos | Puslaidininkių terminio apdorojimo dalys, puslaidininkių gamybos įrangos dalys |
| Pristatymo forma | Formuotas korpusas (sukepintas korpusas) |
| Sudėtis | Mechaninė savybė | Youngo modulis (GPa) | Lenkimo stiprumas (MPa) | ||
| Sudėtis (tūrio proc.) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Tūrinis tankis (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Atspari karščiui temperatūra °C | 1350 m | Puasono koeficientas | 0,18 (RT) | ||
| Šiluminės savybės | Šilumos laidumas (W/(m·K)) | Savitoji šilumos talpa (kJ/(kg·K)) | Šiluminio plėtimosi koeficientas (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT ~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700-1200°C | 4,3x10-6 | |
| Priemaišų kiekis ((ppm) | |||||||||||||
| Elementas | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Turinio rodiklis | 3 | <2 | <0,5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Programos
▪Puslaidininkinis terminis apdorojimas:Idealiai tinka tokiems procesams kaip cheminis nusodinimas garais (CVD), epitaksinis augimas ir atkaitinimas, kai labai svarbu tiksliai kontroliuoti temperatūrą ir patvarumą.
▪Vaflių laikikliai ir mentelės:Sukurta saugiai laikyti ir transportuoti plokšteles atliekant terminį apdorojimą aukštoje temperatūroje.
▪Ekstremalios darbo aplinkos: Tinka nustatymui, reikalaujančiam atsparumo karščiui, cheminiam poveikiui ir mechaniniam poveikiui.
Siliciu impregnuoto SiC privalumai
Didelio grynumo silicio karbido ir pažangios silicio impregnavimo technologijos derinys suteikia neprilygstamų eksploatacinių savybių:
▪Tikslumas:Pagerina puslaidininkių apdorojimo tikslumą ir kontrolę.
▪Stabilumas:Atlaiko atšiaurią aplinką nepakenkiant funkcionalumui.
▪Ilgaamžiškumas:Prailgina puslaidininkių gamybos įrangos tarnavimo laiką.
▪Efektyvumas:Pagerina produktyvumą užtikrinant patikimus ir nuoseklius rezultatus.
Kodėl verta rinktis mūsų siliciu impregnuotus SiC sprendimus?
At Semicera, mes specializuojamės teikti aukštos kokybės sprendimus, pritaikytus puslaidininkių gamintojų poreikiams. Mūsų siliciu impregnuotas silicio karbido irklas ir plokštelių laikiklis yra kruopščiai tikrinami ir užtikrinama kokybė, kad atitiktų pramonės standartus. Pasirinkę Semicera, gausite prieigą prie pažangiausių medžiagų, skirtų optimizuoti gamybos procesus ir padidinti gamybos pajėgumus.
Techninės specifikacijos
▪Medžiagos sudėtis:Didelio grynumo silicio karbidas su silicio impregnavimu.
▪Darbinės temperatūros diapazonas:Iki 2700°C.
▪ Šilumos laidumas:Išskirtinai aukštas, kad šiluma pasiskirstytų vienodai.
▪Atsparumo savybės:Atsparus oksidacijai, korozijai ir dilimui.
▪Programos:Suderinamas su įvairiomis puslaidininkių terminio apdorojimo sistemomis.
Susisiekite su mumis
Pasiruošę patobulinti savo puslaidininkių gamybos procesą? SusisiekiteSemicerašiandien ir sužinoti daugiau apie mūsų siliciu impregnuotą silicio karbido mentelę ir plokštelių laikiklį.
▪El. paštas: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefonas: +86-0574-8650 3783
▪Vieta:Nr.1958 Jiangnan Road, Ningbo aukštųjų technologijų zona, Džedziango provincija, 315201, Kinija
