Semicera silicio nitrido keramikinis substratas yra pažangių medžiagų technologijos viršūnė, užtikrinanti išskirtinį šilumos laidumą ir tvirtas mechanines savybes. Sukurtas didelio našumo reikmėms, šis substratas puikiai tinka aplinkoje, kurioje reikalingas patikimas šilumos valdymas ir konstrukcijos vientisumas.
Mūsų silicio nitrido keramikos substratai yra sukurti taip, kad atlaikytų ekstremalias temperatūras ir atšiaurias sąlygas, todėl jie idealiai tinka didelės galios ir aukšto dažnio elektroniniams įrenginiams. Jų puikus šilumos laidumas užtikrina efektyvų šilumos išsklaijimą, o tai labai svarbu norint išlaikyti elektroninių komponentų veikimą ir ilgaamžiškumą.
„Semicera“ įsipareigojimas siekti kokybės yra akivaizdus kiekviename mūsų gaminamame silicio nitrido keramikiniame substrate. Kiekvienas substratas gaminamas naudojant naujausius procesus, kad būtų užtikrintas pastovus veikimas ir minimalūs defektai. Šis aukštas tikslumo lygis atitinka griežtus pramonės, pavyzdžiui, automobilių, aviacijos ir telekomunikacijų, reikalavimus.
Be šiluminės ir mechaninės naudos, mūsų substratai pasižymi puikiomis elektros izoliacinėmis savybėmis, kurios prisideda prie bendro jūsų elektroninių prietaisų patikimumo. Mažindami elektrinius trukdžius ir didindami komponentų stabilumą, „Semicera“ silicio nitrido keramikos substratai atlieka lemiamą vaidmenį optimizuojant įrenginio veikimą.
Pasirinkus Semicera silicio nitrido keramikinį substratą, reikia investuoti į gaminį, kuris pasižymi aukštu našumu ir ilgaamžiškumu. Mūsų substratai yra sukurti taip, kad atitiktų pažangių elektroninių programų poreikius, užtikrinant, kad jūsų įrenginiai būtų naudingi pažangiausiomis medžiagų technologijomis ir išskirtiniu patikimumu.
| Daiktai | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
| Krištolo parametrai | |||
| Politipas | 4H | ||
| Paviršiaus orientacijos klaida | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriniai parametrai | |||
| Dopantas | n tipo azotas | ||
| Atsparumas | 0,015-0,025 omo cm | ||
| Mechaniniai parametrai | |||
| Skersmuo | 150,0±0,2 mm | ||
| Storis | 350±25 μm | ||
| Pirminė plokščia orientacija | [1–100]±5° | ||
| Pirminis plokščias ilgis | 47,5±1,5 mm | ||
| Antrinis butas | Nėra | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Lankas | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Metmenys | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktūra | |||
| Mikrovamzdžio tankis | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metalo priemaišos | ≤5E10 atomų/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Priekinė kokybė | |||
| Priekyje | Si | ||
| Paviršiaus apdaila | Si-face CMP | ||
| Dalelės | ≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm) | NA | |
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo | Bendras ilgis≤2*Skersmuo | NA |
| Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas | Nėra | NA | |
| Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės | Nėra | ||
| Politipinės zonos | Nėra | Bendras plotas≤20 % | Bendras plotas≤30 % |
| Priekinis lazerinis žymėjimas | Nėra | ||
| Nugaros kokybė | |||
| Nugaros apdaila | C-face CMP | ||
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo | NA | |
| Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos) | Nėra | ||
| Nugaros šiurkštumas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Nugaros lazerinis žymėjimas | 1 mm (nuo viršutinio krašto) | ||
| Kraštas | |||
| Kraštas | Nusklembta | ||
| Pakuotė | |||
| Pakuotė | Epi-ready su vakuumine pakuote Kelių plokštelių kasetinė pakuotė | ||
| *Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD. | |||
