TaC padengti grafito kreipiamieji žiedainurodo plono sluoksnio nusėdimątantalo karbidasant grafito kreipiamojo žiedo paviršiaus, siekiant pagerinti jo atsparumą dilimui, atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį stabilumą. Ši danga paprastai formuojama ant grafito kreipiamojo žiedo paviršiaus naudojant tokius metodus kaip fizinis nusodinimas garais (PVD) arba cheminis nusodinimas garais (CVD).
„Semicera“ teikia specializuotas tantalo karbido (TaC) dangas įvairiems komponentams ir laikikliams.Semicera pirmaujantis dengimo procesas leidžia tantalo karbido (TaC) dangoms pasiekti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir aukštą cheminių medžiagų toleranciją, gerinant SIC/GAN kristalų ir EPI sluoksnių produkto kokybę (Grafitu padengtas TaC susceptorius) ir pratęsti pagrindinių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką. Tantalo karbido TaC dangos naudojimas yra skirtas išspręsti briaunų problemą ir pagerinti kristalų augimo kokybę, o Semicera proveržis išsprendė tantalo karbido dengimo technologiją (CVD), pasiekdamas tarptautinį pažangų lygį.
Po daugelio metų plėtros Semicera užkariavo technologijąCVD TaCbendromis MTEP skyriaus pastangomis. SiC plokštelių augimo procese nesunkiai atsiranda defektų, tačiau panaudojusTaC, skirtumas yra reikšmingas. Žemiau pateikiamas plokštelių su TaC ir be jos, taip pat Simicera dalių, skirtų monokristalų auginimui, palyginimas.
Pagrindinės TaC padengtų grafito kreipiamųjų žiedų savybės:
1. Atsparumas aukštai temperatūrai: TaC danga turi puikų stabilumą aukštoje temperatūroje ir gali išlaikyti stabilumą aukštos temperatūros aplinkoje.
2. Atsparumas dėvėjimuisi: Didelis tantalo karbido plono sluoksnio kietumas suteikia kreipiamojo žiedo atsparumą dilimui ir prailgina jo tarnavimo laiką.
3. Cheminis stabilumas: TaC danga pasižymi dideliu stabilumu nuo cheminės korozijos, todėl tinka naudoti kai kuriose ėsdinančiose terpėse.
4. Sumažinti trintį: TaC danga gali veiksmingai sumažinti trintį tarp grafito kreipiamojo žiedo ir kitų komponentų bei pagerinti mechaninių sandariklių efektyvumą.
su TaC ir be jo
Panaudojus TaC (dešinėje)
Be to, SemiceraTaC dengti gaminiaituri ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį atsparumą aukštai temperatūrai, palyginti suSiC dangos.Laboratoriniai matavimai parodė, kad mūsųTaC dangosgali nuolat veikti iki 2300 laipsnių Celsijaus temperatūroje ilgą laiką. Žemiau pateikiami keli mūsų pavyzdžių pavyzdžiai:
-
SiC kristalų augimo vamzdeliai su pažangiu tantalu...
-
Tantalo karbidu (TaC) padengtas plokštelinis susceptorius
-
Tantalo karbido dengimo tiglis
-
Tantalo karbidu (TaC) padengtas susceptorius, skirtas Epi...
-
Tantalo karbido TaC CVD dangos plokštelės susceptorius
-
Tantalo karbidu (TaC) padengtas grafito žiedas