CVD TaC dangos įvadas:
CVD TaC danga yra technologija, kuri naudoja cheminį nusodinimą garais tantalo karbido (TaC) dangai nusodinti ant pagrindo paviršiaus. Tantalo karbidas yra aukštos kokybės keraminė medžiaga, pasižyminti puikiomis mechaninėmis ir cheminėmis savybėmis. CVD procesas sukuria vienodą TaC plėvelę substrato paviršiuje per dujų reakciją.
Pagrindinės savybės:
Puikus kietumas ir atsparumas dilimui: Tantalo karbidas pasižymi itin dideliu kietumu, o CVD TaC danga gali žymiai pagerinti pagrindo atsparumą dilimui. Dėl to danga idealiai tinka naudoti aplinkoje, kurioje labai susidėvi, pvz., pjovimo įrankius ir formas.
Aukštos temperatūros stabilumas: TaC dangos apsaugo svarbiausius krosnies ir reaktoriaus komponentus iki 2200°C temperatūroje, demonstruodamos gerą stabilumą. Jis išlaiko cheminį ir mechaninį stabilumą esant ekstremalioms temperatūroms, todėl tinkamas apdoroti aukštoje temperatūroje ir naudoti aukštos temperatūros aplinkoje.
Puikus cheminis stabilumas: Tantalo karbidas turi stiprų atsparumą korozijai daugumai rūgščių ir šarmų, o CVD TaC danga gali veiksmingai užkirsti kelią pagrindo pažeidimams korozinėje aplinkoje.
Aukšta lydymosi temperatūra: Tantalo karbido lydymosi temperatūra yra aukšta (apie 3880 °C), todėl CVD TaC dangą galima naudoti esant itin aukštai temperatūrai, nelydant ir nesuyra.
Puikus šilumos laidumas: TaC danga pasižymi dideliu šilumos laidumu, kuri padeda efektyviai išsklaidyti šilumą vykstant aukštos temperatūros procesams ir apsaugo nuo vietinio perkaitimo.
Galimos programos:
• Galio nitrido (GaN) ir silicio karbido epitaksinio CVD reaktoriaus komponentai, įskaitant plokštelių laikiklius, palydovines lėkštes, dušo galvutes, lubas ir susceptorius
• Silicio karbido, galio nitrido ir aliuminio nitrido (AlN) kristalų auginimo komponentai, įskaitant tiglius, sėklų laikiklius, kreipiamuosius žiedus ir filtrus
• Pramoniniai komponentai, įskaitant atsparumo kaitinimo elementus, įpurškimo antgalius, maskavimo žiedus ir litavimo strypus
Taikymo ypatybės:
• Stabili temperatūra virš 2000°C, todėl galima dirbti esant ekstremalioms temperatūroms
•Atsparus vandeniliui (Hz), amoniakui (NH3), monosilanui (SiH4) ir siliciui (Si), užtikrina apsaugą atšiaurioje cheminėje aplinkoje
• Atsparumas šiluminiam smūgiui leidžia greičiau veikti
• Grafitas turi tvirtą sukibimą, užtikrina ilgą tarnavimo laiką ir dangos nesisluoksniavimą.
• Itin didelio grynumo, kad būtų pašalintos nereikalingos priemaišos ar teršalai
• Konformus dangos padengimas iki mažų matmenų leistinų nuokrypių
Techninės specifikacijos:
Tantalo karbido dangų paruošimas CVD metodu：
TAC danga su dideliu kristališkumu ir puikiu vienodumu:
CVD TAC COATING Technical Parameters_Semicera:
Aukščiau pateiktos tipinės vertės.
