TaC Coated Plate yra specializuotas diskas, skirtas naudoti SiC epitaksiniuose procesuose, tiksliai pagamintas iš aukštos kokybės grafito medžiagos. Jo paviršius yra kruopščiai padengtas tantalo karbidu (TaC), junginiu, žinomu dėl savo išskirtinio grynumo ir stiprumo. TaC danga padidina plokštės patvarumą ir atsparumą aukštai temperatūrai, todėl ji idealiai tinka sudėtingoms SiC epitaksinių procesų sąlygoms.
Ši naujoviška TaC padengta plokštė yra specializuotas diskas, skirtas naudoti SiC epitaksiniuose procesuose, tiksliai pagamintas iš aukštos kokybės grafito medžiagos. TaC padengtos plokštės paviršius yra kruopščiai padengtas tantalo karbidu (TaC), junginiu, žinomu dėl savo išskirtinio grynumo ir stiprumo. tarnauja kaip patikima platforma plokštelėms nešti įvairiais SiC epitaksinio augimo etapais. Didelio grynumo grafito pagrindas užtikrina stabilų ir inertišką paviršių, o TaC danga suteikia papildomą apsaugos nuo cheminių reakcijų ir nusidėvėjimo sluoksnį.
SemiceraTaC padengta plokštė yra pritaikyta pagal konkrečius klientų reikalavimus, užtikrinant optimalų veikimą ir suderinamumą su jų SiC epitaksinėmis sistemomis. Nesvarbu, ar tai dydis, forma ar kitos specifikacijos, šios plokštės yra pritaikytos pagal unikalius kiekvieno naudojimo poreikius.
su TaC ir be jo
Panaudojus TaC (dešinėje)
Be to, SemiceraTaC dengti gaminiaituri ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį atsparumą aukštai temperatūrai, palyginti suSiC dangos.Laboratoriniai matavimai parodė, kad mūsųTaC dangosgali nuolat veikti iki 2300 laipsnių Celsijaus temperatūroje ilgą laiką. Žemiau pateikiami keli mūsų pavyzdžių pavyzdžiai:
