„Semicera“ teikia specializuotas tantalo karbido (TaC) dangas įvairiems komponentams ir laikikliams.Semicera pirmaujantis dengimo procesas leidžia tantalo karbido (TaC) dangoms pasiekti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir aukštą cheminių medžiagų toleranciją, gerinant SIC/GAN kristalų ir EPI sluoksnių produkto kokybę (Grafitu padengtas TaC susceptorius) ir pratęsti pagrindinių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką. Tantalo karbido TaC dangos naudojimas yra skirtas išspręsti briaunų problemą ir pagerinti kristalų augimo kokybę, o Semicera proveržis išsprendė tantalo karbido dengimo technologiją (CVD), pasiekdamas tarptautinį pažangų lygį.
Tantalo karbidu padengti plokštelių laikikliai yra plačiai naudojami plokštelių apdorojimo ir tvarkymo procesuose puslaidininkių gamybos procesuose. Jie užtikrina stabilią atramą ir apsaugą, kad būtų užtikrintas plokštelių saugumas, tikslumas ir nuoseklumas gamybos proceso metu. Tantalo karbido dangos gali pailginti laikiklio tarnavimo laiką, sumažinti išlaidas, pagerinti puslaidininkinių gaminių kokybę ir patikimumą.
Tantalo karbidu padengto plokštelių laikiklio aprašymas yra toks:
1. Medžiagos pasirinkimas: Tantalo karbidas yra medžiaga, pasižyminti puikiomis eksploatacinėmis savybėmis, dideliu kietumu, aukštu lydymosi tašku, atsparumu korozijai ir puikiomis mechaninėmis savybėmis, todėl ji plačiai naudojama puslaidininkių gamybos procese.
2. Paviršiaus danga: Tantalo karbido danga padengiama plokštelių laikiklio paviršiumi specialiu dengimo procesu, kad susidarytų vienoda ir tanki tantalo karbido danga. Ši danga gali suteikti papildomą apsaugą ir atsparumą dilimui, tuo pačiu turi gerą šilumos laidumą.
3. Plokštumas ir tikslumas: Tantalo karbidu padengtas plokštelių laikiklis pasižymi dideliu plokštumu ir tikslumu, todėl gamybos proceso metu užtikrinamas plokštelių stabilumas ir tikslumas. Nešiklio paviršiaus lygumas ir apdaila yra labai svarbūs siekiant užtikrinti plokštelės kokybę ir veikimą.
4. Temperatūros stabilumas: Tantalo karbidu dengti plokštelių laikikliai gali išlaikyti stabilumą aukštos temperatūros aplinkoje be deformacijos ar atsipalaidavimo, užtikrinant plokštelių stabilumą ir nuoseklumą aukštos temperatūros procesuose.
5. Atsparumas korozijai: Tantalo karbido dangos pasižymi puikiu atsparumu korozijai, gali atsispirti cheminių medžiagų ir tirpiklių erozijai ir apsaugoti nešiklį nuo skysčių ir dujų korozijos.
su TaC ir be jo
Panaudojus TaC (dešinėje)
Be to, SemiceraTaC dengti gaminiaituri ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį atsparumą aukštai temperatūrai, palyginti suSiC dangos.Laboratoriniai matavimai parodė, kad mūsųTaC dangosgali nuolat veikti iki 2300 laipsnių Celsijaus temperatūroje ilgą laiką. Žemiau pateikiami keli mūsų pavyzdžių pavyzdžiai:
