SemiceraTaC Coating Chuck, pažangiausias vakuuminis griebtuvas suTaC dangos, specialiai sukurtas puslaidininkinėms krosnims. Sukurta taip, kad atitiktų griežtus šiuolaikinių puslaidininkių gamybos procesų reikalavimus, ši naujoviška technologija nustato naują tikslumo, patikimumo ir ilgaamžiškumo standartą.
Puslaidininkių gamybos pagrindas yra esminis tikslaus valdymo ir stabilumo poreikis apdorojimo metu. TaC dangos griebtuvas patenkina šį poreikį integruodamas pažangias technologijasTaC (tantalo karbido) dangosant jo paviršiaus, užtikrinant išskirtinį šiluminį stabilumą, ilgaamžiškumą ir atsparumą cheminei korozijai. Šis unikalus medžiagų derinys ne tik pagerina griebtuvo veikimą, bet ir prailgina jo eksploatavimo laiką, užtikrindamas nuoseklius rezultatus per daugybę ciklų.
Vienas iš pagrindinių TaC Coating Chuck privalumų yra jo gebėjimas išlaikyti aukštą vakuumo vientisumo lygį viso apdorojimo ciklo metu. Efektyviai sumažindama dujų išsiskyrimą ir užteršimą, ši technologija užtikrina puslaidininkinių medžiagų grynumą ir kokybę, o tai užtikrina puikų įrenginio veikimą ir patikimumą.
Be to, „TaC Coating Chuck“ siūlo neprilygstamą universalumą, pritaikydamas platų įvairaus dydžio ir geometrijos puslaidininkinių substratų asortimentą. Pritaikomas TaC Coating Chuck dizainas leidžia sklandžiai integruoti į esamas puslaidininkinių krosnių sistemas, sumažinant prastovos laiką ir padidinant našumą.
Naudodami TaC dangos griebtuvą puslaidininkių gamintojai gali pasiekti didesnį pralaidumą, didesnį derlių ir sumažinti bendras išlaidas. Nesvarbu, ar tai būtų tyrimų laboratorijose, ar didelės apimties gamybos įrenginiuose, ši pažangi technologija suteikia puslaidininkių specialistams galimybę peržengti naujovių ribas, išlaikant griežtus kokybės standartus.
su TaC ir be jo
Panaudojus TaC (dešinėje)
Be to, SemiceraTaC dengti gaminiaituri ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį atsparumą aukštai temperatūrai, palyginti suSiC dangos.Laboratoriniai matavimai parodė, kad mūsųTaC dangosgali nuolat veikti iki 2300 laipsnių Celsijaus temperatūroje ilgą laiką. Žemiau pateikiami keli mūsų pavyzdžių pavyzdžiai:
