Tantalo karbidu dengtas grafito lakštasyra grafito medžiaga su plonu sluoksniutantalo karbidasant pagrindo paviršiaus. Plonas tantalo karbido sluoksnis paprastai susidaro ant grafito pagrindo paviršiaus naudojant tokius metodus kaip fizinis nusodinimas garais (PVD) arba cheminis nusodinimas garais (CVD). Ši danga pasižymi puikiomis savybėmis, tokiomis kaip didelis kietumas, puikus atsparumas dilimui, atsparumas korozijai ir stabilumas aukštoje temperatūroje.
„Semicera“ teikia specializuotas tantalo karbido (TaC) dangas įvairiems komponentams ir laikikliams.Semicera pirmaujantis dengimo procesas leidžia tantalo karbido (TaC) dangoms pasiekti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir aukštą cheminių medžiagų toleranciją, gerinant SIC/GAN kristalų ir EPI sluoksnių produkto kokybę (Grafitu padengtas TaC susceptorius) ir pratęsti pagrindinių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką. Tantalo karbido TaC dangos naudojimas yra skirtas išspręsti briaunų problemą ir pagerinti kristalų augimo kokybę, o Semicera proveržis išsprendė tantalo karbido dengimo technologiją (CVD), pasiekdamas tarptautinį pažangų lygį.
Po daugelio metų plėtros Semicera užkariavo technologijąCVD TaCbendromis MTEP skyriaus pastangomis. SiC plokštelių augimo procese nesunkiai atsiranda defektų, tačiau panaudojusTaC, skirtumas yra reikšmingas. Žemiau pateikiamas plokštelių su TaC ir be jos, taip pat Simicera dalių, skirtų monokristalų auginimui, palyginimas.
Pagrindiniai tantalo karbidu dengto grafito lakšto pranašumai yra šie:
1. Atsparumas aukštai temperatūrai: Tantalo karbidas turi aukštą lydymosi temperatūrą ir puikų stabilumą aukštoje temperatūroje, todėl padengtas grafito lakštas tinkamas naudoti aukštos temperatūros aplinkoje.
2. Atsparumas korozijai: Tantalo karbido danga gali atsispirti daugelio cheminių korozinių medžiagų erozijai ir prailginti medžiagos tarnavimo laiką.
3. Didelis kietumas: Didelis tantalo karbido plono sluoksnio kietumas užtikrina gerą atsparumą dilimui ir yra tinkamas naudoti, kai reikalingas didelis atsparumas dilimui.
4. Cheminis stabilumas: Tantalo karbido danga puikiai atspari cheminei korozijai ir yra tinkama naudoti kai kuriose ėsdinančiose terpėse.
su TaC ir be jo
Panaudojus TaC (dešinėje)
Be to, SemiceraTaC dengti gaminiaituri ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį atsparumą aukštai temperatūrai, palyginti suSiC dangos.Laboratoriniai matavimai parodė, kad mūsųTaC dangosgali nuolat veikti iki 2300 laipsnių Celsijaus temperatūroje ilgą laiką. Žemiau pateikiami keli mūsų pavyzdžių pavyzdžiai:
