Tantalo karbidu padengta susceptoriaus atraminė plokštėyra susceptorius arba atraminė struktūra, kuri yra padengta plonu sluoksniutantalo karbidas. Ši danga gali būti suformuota ant susceptoriaus paviršiaus naudojant tokius metodus kaip fizinis nusodinimas garais (PVD) arba cheminis nusodinimas garais (CVD), suteikiant suskeptoriui puikiastantalo karbidas.
„Semicera“ teikia specializuotas tantalo karbido (TaC) dangas įvairiems komponentams ir laikikliams.Semicera pirmaujantis dengimo procesas leidžia tantalo karbido (TaC) dangoms pasiekti aukštą grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir aukštą cheminių medžiagų toleranciją, gerinant SIC/GAN kristalų ir EPI sluoksnių produkto kokybę (Grafitu padengtas TaC susceptorius) ir pratęsti pagrindinių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką. Tantalo karbido TaC dangos naudojimas yra skirtas išspręsti krašto problemą ir pagerinti kristalų augimo kokybę, o Semicera proveržis išsprendė tantalo karbido dengimo technologiją (CVD), pasiekdamas tarptautinį pažangų lygį.
Po daugelio metų plėtros Semicera užkariavo technologijąCVD TaCbendromis MTEP skyriaus pastangomis. SiC plokštelių augimo procese nesunkiai atsiranda defektų, tačiau panaudojusTaC, skirtumas yra reikšmingas. Žemiau pateikiamas plokštelių su TaC ir be jos, taip pat Simicera dalių, skirtų monokristalų auginimui, palyginimas.
Pagrindinės tantalo karbidu dengtų pagrindo atraminių plokščių savybės:
1. Aukštos temperatūros stabilumas: Tantalo karbidas turi puikų stabilumą aukštoje temperatūroje, todėl padengta pagrindo atraminė plokštė tinka atramos poreikiams aukštoje temperatūroje.
2. Atsparumas korozijai: Tantalo karbido danga turi gerą atsparumą korozijai, gali atsispirti cheminei korozijai ir oksidacijai bei prailginti pagrindo tarnavimo laiką.
3. Didelis kietumas ir atsparumas dilimui: Didelis tantalo karbido dangos kietumas suteikia pagrindo atraminei plokštei gerą atsparumą dilimui, o tai tinka progoms, kurioms reikalingas didelis atsparumas dilimui.
4. Cheminis stabilumas: Tantalo karbidas pasižymi dideliu stabilumu įvairioms cheminėms medžiagoms, todėl padengta pagrindo atraminė plokštė gerai veikia kai kuriose korozinėse aplinkose.
su TaC ir be jo
Panaudojus TaC (dešinėje)
Be to, SemiceraTaC dengti gaminiaituri ilgesnį tarnavimo laiką ir didesnį atsparumą aukštai temperatūrai, palyginti suSiC dangos.Laboratoriniai matavimai parodė, kad mūsųTaC dangosgali nuolat veikti iki 2300 laipsnių Celsijaus temperatūroje ilgą laiką. Žemiau pateikiami keli mūsų pavyzdžių pavyzdžiai:
