„Semicera“ pristato pramonės lyderįVaflių nešikliai, sukurta siekiant užtikrinti puikią apsaugą ir sklandų subtilių puslaidininkinių plokštelių transportavimą įvairiais gamybos proceso etapais. MūsųVaflių nešikliaiyra kruopščiai suprojektuoti taip, kad atitiktų griežtus šiuolaikinės puslaidininkių gamybos reikalavimus, užtikrinant, kad jūsų plokštelių vientisumas ir kokybė būtų visada išlaikomi.
Pagrindinės funkcijos:
• Aukščiausios kokybės medžiagų konstrukcija:Pagaminta iš aukštos kokybės, užteršimui atsparių medžiagų, kurios garantuoja patvarumą ir ilgaamžiškumą, todėl idealiai tinka švarioms patalpoms.
•Tikslus dizainas:Turi tikslią plyšių išlygiavimą ir saugius laikymo mechanizmus, kad būtų išvengta plokštelės paslydimo ir sugadinimo tvarkant ir transportuojant.
•Universalus suderinamumas:Tinka įvairių dydžių ir storių plokštelėms, suteikiant lankstumo įvairioms puslaidininkių reikmėms.
•Ergonomiškas valdymas:Lengvas ir patogus dizainas palengvina pakrovimą ir iškrovimą, padidina veiklos efektyvumą ir sumažina tvarkymo laiką.
•Pritaikomos parinktys:Siūlo pritaikymą, kad atitiktų konkrečius reikalavimus, įskaitant medžiagų pasirinkimą, dydžio koregavimą ir ženklinimą, kad būtų optimizuota darbo eigos integracija.
Patobulinkite savo puslaidininkių gamybos procesą naudodami Semicera'sVaflių nešikliai, puikus sprendimas apsaugoti plokšteles nuo užteršimo ir mechaninių pažeidimų. Pasitikėkite mūsų įsipareigojimu siekti kokybės ir naujovių, kad galėtume pristatyti produktus, kurie ne tik atitinka, bet ir viršija pramonės standartus, užtikrindami, kad jūsų veikla vyktų sklandžiai ir efektyviai.
| Daiktai | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
| Krištolo parametrai | |||
| Politipas | 4H | ||
| Paviršiaus orientacijos klaida | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriniai parametrai | |||
| Dopantas | n tipo azotas | ||
| Atsparumas | 0,015-0,025 omo cm | ||
| Mechaniniai parametrai | |||
| Skersmuo | 150,0±0,2 mm | ||
| Storis | 350±25 μm | ||
| Pirminė plokščia orientacija | [1–100]±5° | ||
| Pirminis plokščias ilgis | 47,5±1,5 mm | ||
| Antrinis butas | Nėra | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Lankas | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Metmenys | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktūra | |||
| Mikrovamzdžio tankis | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metalo priemaišos | ≤5E10 atomų/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Priekinė kokybė | |||
| Priekyje | Si | ||
| Paviršiaus apdaila | Si-face CMP | ||
| Dalelės | ≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm) | NA | |
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo | Bendras ilgis≤2*Skersmuo | NA |
| Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas | Nėra | NA | |
| Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės | Nėra | ||
| Politipinės zonos | Nėra | Bendras plotas≤20 % | Bendras plotas≤30 % |
| Priekinis lazerinis žymėjimas | Nėra | ||
| Nugaros kokybė | |||
| Nugaros apdaila | C-face CMP | ||
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo | NA | |
| Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos) | Nėra | ||
| Nugaros šiurkštumas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Nugaros lazerinis žymėjimas | 1 mm (nuo viršutinio krašto) | ||
| Kraštas | |||
| Kraštas | Nusklembta | ||
| Pakuotė | |||
| Pakuotė | Epi-ready su vakuumine pakuote Kelių plokštelių kasetinė pakuotė | ||
| *Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD. | |||
