Semicera pristatoVaflių kasečių laikiklis, kritinis sprendimas saugiam ir efektyviam puslaidininkinių plokštelių tvarkymui. Šis laikiklis sukurtas taip, kad atitiktų griežtus puslaidininkių pramonės reikalavimus, užtikrinant jūsų plokštelių apsaugą ir vientisumą viso gamybos proceso metu.
Pagrindinės funkcijos:
•Tvirta konstrukcija:TheVaflių kasečių laikiklisyra pagamintas iš aukštos kokybės, patvarių medžiagų, kurios atlaiko puslaidininkinės aplinkos sunkumus, užtikrindamos patikimą apsaugą nuo užteršimo ir fizinės žalos.
•Tikslus lygiavimas:Šis laikiklis, sukurtas tiksliam plokštelių išlygiavimui, užtikrina, kad plokštelės būtų saugiai laikomos savo vietoje, taip sumažinant netinkamo išlygiavimo ar sugadinimo riziką transportavimo metu.
•Lengvas valdymas:Ergonomiškai suprojektuotas, kad būtų patogus naudoti, laikiklis supaprastina pakrovimo ir iškrovimo procesą, pagerindamas darbo eigos efektyvumą švarioje patalpoje.
•Suderinamumas:Suderinamas su įvairių dydžių ir tipų plokštelėmis, todėl yra universalus įvairiems puslaidininkių gamybos poreikiams.
Patirkite neprilygstamą apsaugą ir patogumą su Semicera'sVaflių kasečių laikiklis. Mūsų laikiklis sukurtas taip, kad atitiktų aukščiausius puslaidininkių gamybos standartus, užtikrinant, kad jūsų plokštelės išliktų nesugadintos nuo pradžios iki pabaigos. Pasitikėkite Semicera, kad ji užtikrins kokybę ir patikimumą, kurios jums reikia svarbiausiems procesams.
Daiktai | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
Krištolo parametrai | |||
Politipas | 4H | ||
Paviršiaus orientacijos klaida | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektriniai parametrai | |||
Dopantas | n tipo azotas | ||
Atsparumas | 0,015-0,025 omo cm | ||
Mechaniniai parametrai | |||
Skersmuo | 150,0±0,2 mm | ||
Storis | 350±25 μm | ||
Pirminė plokščia orientacija | [1–100]±5° | ||
Pirminis plokščias ilgis | 47,5±1,5 mm | ||
Antrinis butas | Nėra | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
Lankas | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Metmenys | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktūra | |||
Mikrovamzdžio tankis | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
Metalo priemaišos | ≤5E10 atomų/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
Priekinė kokybė | |||
Priekyje | Si | ||
Paviršiaus apdaila | Si-face CMP | ||
Dalelės | ≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm) | NA | |
Įbrėžimai | ≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo | Bendras ilgis≤2*Skersmuo | NA |
Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas | Nėra | NA | |
Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės | Nėra | ||
Politipinės zonos | Nėra | Bendras plotas≤20 % | Bendras plotas≤30 % |
Priekinis lazerinis žymėjimas | Nėra | ||
Nugaros kokybė | |||
Nugaros apdaila | C-face CMP | ||
Įbrėžimai | ≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo | NA | |
Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos) | Nėra | ||
Nugaros šiurkštumas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Nugaros lazerinis žymėjimas | 1 mm (nuo viršutinio krašto) | ||
Kraštas | |||
Kraštas | Nusklembta | ||
Pakuotė | |||
Pakuotė | Epi-ready su vakuumine pakuote Kelių plokštelių kasetinė pakuotė | ||
*Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD. |