Vaflių tvarkymo rankenayra pagrindinė įranga, naudojama puslaidininkių gamybos procese valdyti, perkelti ir padėtivafliai. Paprastai jį sudaro roboto ranka, griebtuvas ir valdymo sistema, pasižyminti tiksliomis judėjimo ir padėties nustatymo galimybėmis.Vaflių tvarkymo rankosyra plačiai naudojami įvairiose puslaidininkių gamybos srityse, įskaitant proceso etapus, tokius kaip plokštelių pakrovimas, valymas, plonos plėvelės nusodinimas, ėsdinimas, litografija ir tikrinimas. Jo tikslumas, patikimumas ir automatizavimo galimybės yra būtinos norint užtikrinti gamybos proceso kokybę, efektyvumą ir nuoseklumą.
Pagrindinės plokštelių tvarkymo rankos funkcijos:
1. Plokščių perkėlimas: plokštelių tvarkymo rankena gali tiksliai perkelti plokšteles iš vienos vietos į kitą, pavyzdžiui, paimti plokšteles iš laikymo lentynos ir įdėti į apdorojimo įrenginį.
2. Padėties nustatymas ir orientacija: plokštelių tvarkymo svirtis gali tiksliai nustatyti ir orientuoti plokštelę, kad būtų užtikrintas teisingas išlygiavimas ir padėtis vėlesnėms apdorojimo ar matavimo operacijoms.
3. Suspaudimas ir atleidimas: Plokščių tvarkymo rankose paprastai yra griebtuvai, kurie gali saugiai suspausti plokšteles ir atleisti jas, kai reikia, kad būtų užtikrintas saugus plokštelių perkėlimas ir tvarkymas.
4. Automatizuotas valdymas: plokštelių tvarkymo svirtis yra aprūpinta pažangia valdymo sistema, kuri gali automatiškai atlikti iš anksto nustatytas veiksmų sekas, pagerinti gamybos efektyvumą ir sumažinti žmogiškųjų klaidų skaičių.
Charakteristikos ir privalumai
1. Tikslūs matmenys ir terminis stabilumas.
2. Didelis specifinis standumas ir puikus terminis vienodumas, ilgalaikiam naudojimui nėra lengva sulenkti deformaciją.
3.Jis turi lygų paviršių ir gerą atsparumą dilimui, todėl saugiai tvarko lustą be dalelių užteršimo.
4.Silicio karbido varža 106-108Ω, nemagnetinė, atitinka anti-ESD specifikacijos reikalavimus; Tai gali užkirsti kelią statinės elektros kaupimuisi ant lusto paviršiaus.
5.Geras šilumos laidumas, mažas plėtimosi koeficientas.
