„Semicera“ 4 colių N tipo SiC substratai yra sukurti taip, kad atitiktų griežtus puslaidininkių pramonės standartus. Šie substratai yra didelio našumo pagrindas įvairioms elektroninėms reikmėms, pasižymintys išskirtiniu laidumu ir šiluminėmis savybėmis.
Šių SiC substratų N tipo legiravimas padidina jų elektrinį laidumą, todėl jie ypač tinka didelės galios ir aukšto dažnio reikmėms. Ši savybė leidžia efektyviai valdyti tokius įrenginius kaip diodai, tranzistoriai ir stiprintuvai, kai labai svarbu sumažinti energijos nuostolius.
Semicera naudoja naujausius gamybos procesus, kad užtikrintų, jog kiekvienas substratas pasižymi puikia paviršiaus kokybe ir vienodumu. Šis tikslumas yra labai svarbus taikant galios elektroniką, mikrobangų krosneles ir kitas technologijas, kurioms reikalingas patikimas veikimas ekstremaliomis sąlygomis.
„Semicera“ N tipo SiC substratų įtraukimas į savo gamybos liniją reiškia, kad gausite naudos iš medžiagų, kurios pasižymi puikiu šilumos išsklaidymo ir elektrinio stabilumo. Šie substratai idealiai tinka kurti komponentams, kuriems reikalingas patvarumas ir efektyvumas, pavyzdžiui, galios konvertavimo sistemoms ir RF stiprintuvams.
Pasirinkę Semicera 4 colių N tipo SiC substratus, investuojate į produktą, kuriame naujoviškas medžiagų mokslas derinamas su kruopščiu meistriškumu. Semicera ir toliau pirmauja pramonėje teikdama sprendimus, kurie palaiko pažangiausių puslaidininkių technologijų plėtrą, užtikrina aukštą našumą ir patikimumą.
| Daiktai | Gamyba | Tyrimas | Manekenas |
| Krištolo parametrai | |||
| Politipas | 4H | ||
| Paviršiaus orientacijos klaida | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriniai parametrai | |||
| Dopantas | n tipo azotas | ||
| Atsparumas | 0,015-0,025 omo cm | ||
| Mechaniniai parametrai | |||
| Skersmuo | 150,0±0,2 mm | ||
| Storis | 350±25 μm | ||
| Pirminė plokščia orientacija | [1–100]±5° | ||
| Pirminis plokščias ilgis | 47,5±1,5 mm | ||
| Antrinis butas | Nėra | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5 mm * 5 mm) | ≤10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Lankas | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Metmenys | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Priekinis (Si-face) šiurkštumas (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktūra | |||
| Mikrovamzdžio tankis | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metalo priemaišos | ≤5E10 atomų/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 e/cm2 | ≤3000 e/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 e/cm2 | ≤1000 e/cm2 | NA |
| Priekinė kokybė | |||
| Priekyje | Si | ||
| Paviršiaus apdaila | Si-face CMP | ||
| Dalelės | ≤60ea/vaflė (dydis≥0,3μm) | NA | |
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm. Bendras ilgis ≤ Skersmuo | Bendras ilgis≤2*Skersmuo | NA |
| Apelsinų žievelės / kauliukai / dėmės / dryžiai / įtrūkimai / užteršimas | Nėra | NA | |
| Kraštų drožlės / įdubos / lūžiai / šešiakampės plokštės | Nėra | ||
| Politipinės zonos | Nėra | Bendras plotas≤20 % | Bendras plotas≤30 % |
| Priekinis lazerinis žymėjimas | Nėra | ||
| Nugaros kokybė | |||
| Nugaros apdaila | C-face CMP | ||
| Įbrėžimai | ≤5ea/mm, Kaupiamasis ilgis≤2*Skersmuo | NA | |
| Nugaros defektai (kraštų įtrūkimai/įtraukos) | Nėra | ||
| Nugaros šiurkštumas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Nugaros lazerinis žymėjimas | 1 mm (nuo viršutinio krašto) | ||
| Kraštas | |||
| Kraštas | Nusklembta | ||
| Pakuotė | |||
| Pakuotė | Epi-ready su vakuumine pakuote Kelių plokštelių kasetinė pakuotė | ||
| *Pastabos: „NA“ reiškia, kad nėra prašymo. Nepaminėti elementai gali būti susiję su SEMI-STD. | |||
