SOI vafliai

Trumpas aprašymas:

SOI plokštelė yra sumuštinį primenanti struktūra su trimis sluoksniais;Įskaitant viršutinį sluoksnį (įrenginio sluoksnį), palaidoto deguonies sluoksnio vidurį (izoliaciniam SiO2 sluoksniui) ir apatinį substratą (birų silicį).SOI plokštelės gaminamos naudojant SIMOX metodą ir plokštelių sujungimo technologiją, kuri leidžia plonesnius ir tikslesnius įrenginio sluoksnius, vienodą storį ir mažą defektų tankį.

Siųskite mums el

Produkto detalė

Produkto etiketės

SOI plokštelės (1)

Taikymo laukas

1. Didelės spartos integrinis grandynas

2. Mikrobangų krosnelės

3. Aukštos temperatūros integrinis grandynas

4. Maitinimo įrenginiai

5. Mažos galios integrinis grandynas

6. MEMS

7. Žemos įtampos integrinis grandynas

Prekė		Argumentas
Apskritai	Vaflio skersmuo 晶圆尺寸 (mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	Lankas / Metmenys 翘曲度(	<10 um
	Dalelės 颗粒度(	0.3um<30ea
	Butai/įpjova 定位边/定位槽	Plokščias arba įpjovas
	Kraštų išskyrimas 边缘去除 (mm)	/
Įrenginio sluoksnis 器件层	Įrenginio sluoksnio tipas / priedas 器件层掺杂类型	N tipo / P tipo B/ P/ Sb / As
	Įrenginio sluoksnio orientacija 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Įrenginio sluoksnio storis 器件层厚度 (um)	0,1–300 um
	Įrenginio sluoksnio varža 器件层电阻率 (omų•cm)	0,001–100 000 omų-cm
	Įrenginio sluoksnio dalelės 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Įrenginio sluoksnio TTV 器件层TTV(	<10 um
	Įrenginio sluoksnio apdaila 器件层表面处理	Poliruotas
DĖŽĖ	Palaidotas terminio oksido storis 埋氧层厚度(um)	50nm (500Å) ~ 15um
Rankenos sluoksnis 衬底	Rankenos vaflių tipas/dopantas 衬底层类型	N tipo / P tipo B/ P/ Sb / As
	Rankenos vaflių orientacija 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Rankenos plokštelės varža 衬底电阻率 (omų•cm)	0,001–100 000 omų-cm
	Rankenos plokštelės storis 衬底厚度 (um)	> 100 um
	Rankenos vaflių apdaila 衬底表面处理	Poliruotas
Tikslinių specifikacijų SOI plokštelės gali būti pritaikytos pagal klientų poreikius.